판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 805C #293642578
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ID: 293642578
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1994
Furnace, 8"
Process: TEOS
Wafer: Flat zone type
Gases configuration:
Gas supply:
Gas name / Pressure / Connection method / Unit
PN2 / 1/4" UJR / Utility box
O2 / 1/4" UJR / Utility box
TEOS / 1/4" UJR / Utility box
Exhaust:
Type of Exhaust / Flow rate
Scavenger exhaust / 3 m³/min
Process exhaust / 1 m³/min
Gas room exhaust / 1 m³/min
Cooling water:
Gas name / Pressure / Flow rate / Connection method / Used for
Furnace unit / 5 Kg/cm² / 15 / 3/4" SWG / Heater, flange
Power supply:
UPS:100 V, Single Phase, 3 kW (Controller)
Power: 208 V, 3 Phase, 30 kW (Heater chamber)
1994 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 805C는 다양한 응용 프로그램을 지원하기 위해 다양한 액세서리를 갖춘 다목적 확산 로입니다. 표준 패키지에서 사용 가능한 가장 정확한 온도 조절 (temperature control) 기능을 제공하도록 설계되었습니다. TEL Alpha 805C는 웨이퍼 전체에서 높은 균일 성을 가진 200 ~ 1250 ° C의 모든 기질의 정확한 열 과정을 허용합니다. 산화, LPCVD 및 빠른 열 처리 기능이 있으며 고온 질소, 질소 트리메틸 붕산염 (NTMBS), 암모니아 (NH3), 수소 및 염소로 보충 할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON Alpha 805C 시리즈의 확산 로는 정확한 온도 관리 및 균일성을 보장하는 혁신적인 히터 와인딩 시스템을 갖추고 있습니다. 이 시스템은 더 나은 온도 조절을 통해 가스 소비를 줄이고, 효율성이 높으며, 산화 및 LPCVD 프로세스의 최대 작동 온도를 제공합니다. 온도 균일성을 최대화하기 위해, 2 개의 가스 구역은 웨이퍼 전체에서 정확한 온도 조절을 제공합니다. 이 디자인은 또한 용광로 대기를 조절하고 열 구배를 줄이는 데 도움이됩니다. 알파 805C (Alpha 805C) 는 빠르고 효율적인 작동을 위해 설계되었으며 높은 처리량을 생산할 수 있습니다. 빠른 주기 시간이 있으며, 짧은 주기 시간으로 대규모 생산 부지를 처리 할 수 있습니다. 안전성을 위해, 퍼니스는 견고한 안전 센서로 구성되어 공정 가스의 과전류 (over-current), 짧은 회로 (short-circuit) 및 불일치를 감지 할 수 있습니다. 대형 내부 하이브리드 탄화수소 스크러버를 갖춘 TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 805C는 안전하고 효율적인 작동을 위해 깨끗한 환경을 제공합니다. 이 퍼니스는 냉각 콘덴서 (cooling condenser) 옵션으로도 설계되었으며, 외부 배기 팬 (external xhaust fan) 을 장착하여 내부의 온도 변동을 줄일 수 있습니다. 제어판의 7 세그먼트 색상 디스플레이 (7-segment color display) 는 용광로 작동 상태를 명확하게 나타냅니다. TEL Alpha 805C는 다중 단계 작업 및 프로세스 레시피 생성도 가능합니다. 도쿄 전자 알파 805C (TOKYO ELECTRON Alpha 805C) 는 대용량 생산 애플리케이션에 이상적인 옵션으로 뛰어난 온도 조절, 빠른 처리 시간, 뛰어난 균일성을 제공합니다. 사용자 정의 가능한 설계, 다양한 기능을 통해, 사용자는 원하는 대로 원하는 대로 쉽게 사용자 정의할 수 있습니다. 알파 805C는 확산 프로세스 및 고정밀 열 프로세스에 완벽한 선택입니다.
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