판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 805 #293589211

ID: 293589211
Furnace Transformer included.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 805는 다기능 확산 로와 관련 액세서리입니다. 이 제품은 다양한 업종과 응용 프로그램에 사용되며, 매우 정확하고 안정적인 처리 결과를 제공할 수 있습니다 (영문). TEL Alpha 805는 고효율 반응 영역, 향상된 웨이퍼 처리 기능, 사용하기 쉬운 작동 패널 및 정교한 모니터링 시스템을 갖추고 있습니다. TOKYO ELECTRON Alpha 805는 강력한 직접 드라이브 사이리스터 전원 모듈로 구동되며, 이 모듈은 최대 800 KW의 정확하고 정확한 전원 제어를 제공합니다. 다이렉트 드라이브 (Direct Drive) 기술은 균일하고 일관된 가열을 제공하는 데 사용되며, 전체 웨이퍼 처리 주기에 걸쳐 정확한 온도 조절 및 안정성을 보장합니다. 또한, 시스템은 웨이퍼 온도 측정을위한 신뢰할 수있는 피로미터 (pyrometer) 를 통합하며, 전체 웨이퍼 열전열주기를 정확하게 제어하는 데 사용됩니다. Alpha 805 확산 퍼니스는 사용자 환경을 향상시키기 위해 인체 공학적, 사용자 친화적 인 작동 패널을 제공합니다. 또한 제어판 은 직관적 이고 사용 하기 쉽기 때문 에 "테스트 '를 신속 히 하고" 매개 변수' 를 조정 할 수 있다. 이 시스템에는 보다 자세한 모니터링 및 데이터 분석을 위한 터치 패널도 있습니다. 또한, 용광로에는 고급 경보 기능 (advanced alarm function) 및 모니터링 시스템 (monitoring system) 이 통합되어 있어 프로세스 장애가 발생할 때 사용자에게 경보할 수 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 805 확산 로에는 프리미엄 품질의 로딩 액세서리가 장착되어 있습니다. 여기에는 5 단계 카트 로더 및 언로더가 포함되어 있으며, 둘 다 기계식 잠금 장치 및 지능형 웨이퍼 포지셔닝 메커니즘이 특징입니다. 이 용광로는 또한 순환 팬, 도어 모니터링, 제한 스위치 (예: 도어 모니터링, 스위치) 와 같은 보호 시스템을 갖추고 있어 안전하고 안전한 처리를 보장합니다. TEL Alpha 805 확산 로는 최첨단 고급 기능으로 설계되어 강력하고, 안정적이며, 정확한 웨이퍼 처리 환경을 제공합니다. Direct-Drive 사이리스터 전원 모듈을 사용하여 정확한 온도 조절 및 에너지 효율성을 제공합니다. 또한 직관적이고 상세한 모니터링을 갖춘 인체 공학 및 사용자 친화적 운영 제어판, 최고 수준의 로딩 액세서리 (loading accessory) 를 포함하여 안전하고 안전한 처리를 보장합니다.
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