판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 803SD #293651970

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 803SD는 고성능 확산 로와 관련 액세서리입니다. 이 시스템은 광범위한 반도체 및 광전자 재료에 대해 정확하고 안정적인 처리를 제공합니다. CVD 및 PVD 프로세스, 수정 증착 또는 웨이퍼 제작과 같은 많은 응용 프로그램에서 사용됩니다. TEL 알파 803SD (TEL Alpha 803SD) 는 다양한 구성 요소로 구성되어 있으며, 각 구성 요소는 프로세스 매개변수가 항상 최적으로 유지되도록 설계되었습니다. 확산 핫 월 타입 퍼니스 챔버 (furnace chamber) 는 21-4N 스테인리스 스틸 (stainless steel) 을 사용하여 구성되며, 치수는 풍부한 기판 영역을 허용하는 관대 한 내부 부피를 제공합니다. 또한, 챔버의 천장과 벽은 광범위한 난방 영역을 가지며, 서로 다른 기판에서 균일 한 온도 프로파일 (temperature profile) 을 가능하게합니다. 모든 작업은 사용하기 쉽고 사용자에게 친숙한 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 로 제어됩니다. TOKYO ELECTRON Alpha 803SD의 정밀 온도 범위 (최대 1,000 ° C) 는 다양한 응용 프로그램에 맞게 조정할 수 있습니다. 한편, 고급 균일성 제어 기술 (Advanced Uniformity Control Technology) 은 온도 영역 간의 변화를 줄이고 핫스팟을 방지하기 위해 설계되었습니다. 또한, 프로세스 자동 실행을 위해 다양한 레시피를 저장할 수 있으므로, 원하는 결과를 일관되게 전달할 수 있습니다. 또한 Alpha 803SD는 독립적 인 난방 구역 및 가스 밸브 인터 록을 포함한 여러 안전 기능을 갖추고 있습니다. 또한 강제 공기 냉각 장치 (forced air cooling system) 가 장착되어 있으며, 다양한 가스 및 공정 라디칼과 호환됩니다. '모듈식' 특성은 간편한 유지 보수 및 서비스를 보장하며, '견고한' 구성은 안정적인 운영 및 '수명 주기 연장' 을 보장합니다. 전반적으로 TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 803SD는 신뢰성이 높고 효율성이 높은 고성능 확산 로로, 많은 응용 프로그램에 적합합니다. 모듈식 설계로 설치 및 유지 보수가 용이하며, 고급 안전 (Safety) 기능은 안전한 운영을 보장합니다. 넓은 온도 범위, 균일성 제어 (uniformity control) 및 큰 챔버 (chamber) 는 여러 유형의 확산 프로세스에 이상적입니다.