판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 803SD #293622216

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 803SD 확산 로는 뛰어난 제품 균일성과 특수 산화 및 확산 요구를 제공하기 위해 설계되었습니다. 이 확산 용광로는 열 산화 및 확산, 얕은 접합 형성, 게이트 산화물 형성 등 다양한 과정을 추진하는 데 사용될 수있다. TEL Alpha 803SD는 공정 범위가 넓은 매우 효율적이고 수직 유형의 확산 로입니다. 이중 카세트 셔틀 설계를 통해 프로세스 시간을 단축하고 수동 전송 (manual transfer) 을 없애 처리량을 늘릴 수 있습니다. 새로 개발 된 균일성 제어 시스템은 특수 UC 프로그램을 적용하여 효과적인 UC (Uniformity Control) 를 보장합니다. 도쿄 전자 알파 803SD (TOKYO ELECTRON Alpha 803SD) 에는 다른 프로세스를 희생시키지 않고 고성능 프로세스 제어를 유지하는 고급 열 제어 시스템이 장착되어 있습니다. 열 제어 시스템 (thermal control system) 은 효율적인 프로세스 제어를 제공하면서 환경 조건의 변화로 인한 변화를 최소화합니다. 또한, 다중 뱅크 설정 기능을 통해 대용량 처리 및 소용량 생산이 가능하며, 정확성이 향상되어 효율적이고 안정적인 프로세스가 가능합니다. 알파 803SD는 또한 원하는 RTA 및 저열 예산을 얻기 위해 저온 열 처리 기능을 제공합니다. 이 저온 열 처리는 산화물 화학량 학 제어, 유전체/금속 인터페이스 제어 및 표면 거칠기와 같은 개선 된 특성을 허용합니다. TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 803SD는 또한 화학 소스 백 채우기, 트랙 및 플랫폼 가열, 자동 화학 펌핑, 다양한 I/O 포트 및 진공 재생 시스템과 같은 다양한 기능을 제공합니다. 광범위한 기능을 통해 다양한 프로세스 (process) 를 통해 유연성과 정확성을 높일 수 있습니다. TEL Alpha 803SD 확산 로는 가장 까다로운 확산 프로세스 요구 사항을 충족하도록 설계된 고급 제품입니다. 다양한 프로세스 범위 (process range) 와 효율적인 제어 (efficient control) 는 제품 균일성을 보장하는 반면, 다중 뱅크 설정과 저온 열 처리 기능은 높은 정확도로 다양한 프로세스 목표를 달성하는 데 필수적인 도구입니다.