판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 803SC #293651969

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 803SC는 확산 로와 관련 액세서리입니다. 다양한 방법으로 다양한 재료를 처리하도록 설계된 고성능 수평 열처리로 (HPP) 입니다. 803SC는 반도체 웨이퍼를 처리하는 데 사용되는 효과적이고 효율적인 도구입니다. TEL 알파 803SC (TEL Alpha 803SC) 에는 가공실 중심을 가로로 가로지르는 석영 튜브가 있으며 석영 케이싱으로 보호됩니다. 섭씨 200 ~ 1175 도의 조정 가능한 설정 점 온도와 최대 1200 도의 처리 온도가 있습니다. 처리 튜브의 길이는 48 인치이며 최대 2 개의 25 인치 웨이퍼에 장착 할 수 있습니다. 이 "튜브 '에는 두 개 의 움직 일 수 있는 전극 이 장착 되어 있으며, 이 전극 을 이용 하여 끝 까지 균일 하게 가열 할 수 있다. 또한, 전극은 안전한 작동을 위해 고무 지지대에 장착됩니다. TOKYO ELECTRON Alpha 803SC에는 챔버 압력, 온도, 제거/적재 시간 등의 매개 변수를 조작하는 데 사용할 수있는 고정밀 컨트롤러도 있습니다. 컨트롤러는 터치스크린 그래픽 사용자 인터페이스 (touch-screen graphic user interface) 를 포함하며, 챔버의 진공 수준을 제어하는 데 사용할 수 있으며, 이를 통해 연산자는 최적의 처리 조건에 필요한 매개변수를 정확하게 제어할 수 있습니다. 803SC에는 가스 제어 모듈 (Gas Control Module) 도 장착되어 있으며, 이를 통해 프로세스 챔버에 가스를 추가하거나, 원하는 환경을 만들거나, 프로세스를 보완할 수 있습니다. 이 "가스 '는 여러 가지 표준" 가스' 와 호환 될 수 있도록 설계 되었으며, "가스 '의 혼합물 을 제어 할 수 있어서, 그 공정 이 원하는 결과 로 완성 된다. 803SC 는 또한 "가스 '누출 탐지 장치 를 포함 한 안전 회로 부품 과 비상 사태 시 장비 와 인력 을 보호 하기 위한 열 차단 장치 (thermal shutdown system) 도 함께 제공 한다. 전반적으로 Alpha 803SC는 반도체 웨이퍼에 효과적이고 효율적인 열 처리 도구입니다. 매개변수의 정확한 제어를 위해 조정 가능한 set point 온도와 high-precision 컨트롤러가 있습니다. 또한 다른 가스를 처리하기위한 안전 회로 부품 및 가스 제어 모듈 (gas control module) 이 제공됩니다.