판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 803SC #293622215

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 803SC는 저가 집적 회로 (IC) 웨이퍼를 생산하는 데 사용되는 액세서리가있는 확산 로입니다. 산화 (oxidation) 및 열 산화 (thermal oxidation) 과정을 포함한 다양한 확산 요구를 처리하고 고정밀 프로세스 제어를 제공하도록 설계되었습니다. 803SC 장비는 8 인치 웨이퍼 공급 모듈과 웨이퍼 처리 시스템으로 구성됩니다. 웨이퍼 공급 모듈 (wafer supply module) 에는 전원 공급 장치, 대피 장치 및 가스 분배기와 함께 고정밀 수평로 챔버가 포함되어 있습니다. 기체 분포 도구 (gas distribution tool) 는 열 산화에 적합한 대기를 제공하며 온도, 압력 및 흐름에 맞게 조정할 수 있습니다. 웨이퍼 처리 자산은 가스 박스 (gas box) 와 비 자기 격리 모듈 (non-magnetic isolation module), 회전 암, X-Y 웨이퍼 플랫폼 및 RV 트랙의 조합을 사용하여 단일 웨이퍼 및 배치 처리를 모두 허용합니다. TEL 알파 803SC (TEL Alpha 803SC) 는 용광로 챔버의 출력을 제어하여 웨이퍼에 매우 균일 한 가열을 제공하는 전원 공급 장치를 갖추고 있습니다. 또한, 803SC (gas supply model) 는 열 산화 과정에 필수적인 산소의 부분 압력을 정확하게 제어 할 수있는 가스 공급 모델을 포함한다. 용광로는 균일 한 산화를 보장하기 위해 가장 정확한 온도 조절을 제공하도록 설계되었습니다. 열 저항 내화 챔버 (heat resistive refractory chamber) 와 강제 공기 냉각 장비는 전체 챔버에 균일 한 온도 프로파일을 유지합니다. 803SC 시스템에는 안전 작동을 보장하는 다양한 안전 (safety) 기능도 장착되어 있습니다. 여기에는 온도 점검 제어 장치, 산소 모니터/경보, 진공 모니터/경보 및 압력 안전 밸브가 포함됩니다. 이러한 구성 요소 각각은 예기치 않은 경우 작동 장치, 웨이퍼 (wafer), 챔버 (chamber) 가 손상되거나 오작동하지 않도록 설계되었습니다. 추가 수준의 보증으로, 퍼니스는 또한 극한의 온도와 화학 물질을 견딜 수있는 고급 부식 내성 스테인레스 스틸 (stainless steel) 로 구성됩니다. 사용자는 803SC 장치를 사용하여 프로세스 제어를 철저히 유지하고 일관성 있는 고품질 (High-Quality) 결과를 제공할 수 있습니다. 803SC는 가전 제품 (Consumer Electronics) 에서 자동차 제품 (Automotive Product), 의료 장비 (Medical Equipment) 에 이르기까지 광범위한 응용 분야에서 IC 생산에 적합합니다.