판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 803D #9290885

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 803D는 반도체 산업의 요구를 충족시키기 위해 특별히 설계된 고급 확산 로입니다. TEL Alpha 803D는 최고 수준의 안정성과 기능을 제공하도록 설계되었습니다. 도쿄 전자 알파 803D (TOKYO ELECTRON Alpha 803D) 는 올인원 (All-in-One) 확산 로로, 모든 필수 구성 요소를 쉽게 설치 및 작동할 수 있도록 단일 장치에 통합합니다. 알파 803D는 최대 7 개의 웨이퍼를 동시에 수용 할 수 있으며, 분당 30 리터의 가스 유량으로 최대 800 ° C를 작동 할 수 있습니다. 확산, 산화 및 질소와 같은 고정밀 증착 과정을 허용합니다. TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 803D는 또한 챔버 전체에 균등하게 분산 된 가열에 대한 정확한 온도 제어를 제공합니다. 또한, TEL Alpha 803D에는 각 증착 프로세스가 완료된 후 통풍을 제어하기 위해 자동 펌프 다운 기능이있는 내장 가스 시스템이 포함되어 있습니다. TOKYO ELECTRON Alpha 803D에는 안전하고 효율적인 작동을 보장하는 여러 기능이 제공됩니다. 그것 은 "티타늄 '합금" 챔버' 와 위험 한 "가스 '를 방지 하는 석영 창문 을 포함 하고 있으며, 점화" 인터록' 은 문 이 열릴 때 연산자 들 이 용광로 를 달릴 수 없게 한다. Alpha 803D에는 시작 시퀀스를 제어하는 안전 시작 타이머도 포함되어 있습니다. 오픈 시스템 아키텍처 (Open System Architecture) 와 온라인 모니터링 (Online Monitoring) 기능을 통해 운영자가 원격 위치에서 프로세스를 보고 제어할 수 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 803D에는 대규모 응용 프로그램 생산을위한 온보드 자동 카세트 로더 및 언로더가 포함되어 있습니다. 마지막으로, TEL Alpha 803D는 RF 플라즈마 소스 (RF Plasma Source) 및 대량 흐름 컨트롤러 (Mass Flow Controller) 와 같은 다양한 액세서리와 호환되므로 기능이 더욱 향상됩니다. TOKYO ELECTRON Alpha 803D는 안정성, 성능 및 기능으로 인해 반도체 처리 및 증착 애플리케이션에 이상적인 선택입니다. 업그레이드 및 포괄적인 안전 시스템으로 인해 모든 제조 시설에 필수품이되었습니다.