판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 803D #9287449
이 품목은 이미 판매 된 것 같습니다. 아래 유사 제품을 확인하거나 연락해 주십시오. EMC 의 숙련된 팀이 이 제품을 찾을 수 있습니다.
확대하려면 누르십시오
판매
ID: 9287449
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1992
Furnace, 8"
Power box
Heater
Terminal box
Box 1:
Flange
Outer ring
Exhaust valve
Water pipe
Flange caver
Manometer panel
Sweismic fittings
Dact:
Cable
(2) P/B Ceiling
(2) Exhaust
Box 2:
Process tube
Tube ring
Gas nozzle
Pyro tube
Sic boat
Thermal barrier block
Screw
Shater QUARTZ
Ring
Box 3:
Outer tube
Insulation tube
Puartz QUARTZ
Parts
Pipe:
Vent
Gas
1992 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 803D는 최신 반도체 장치 제작 및 공정 개발을 위해 설계된 최첨단 확산 로와 액세서리입니다. 이 제품군은 TEL 범위의 확산 로의 일부이며, 탁월한 제어 및 성능을 제공합니다. TEL 알파 803D (TEL Alpha 803D) 는 온도 프로파일링을위한 스마트 열전대 입력 컨트롤러 (Smart Thermocouple Input Controller) 와 프로세스 유연성을 수용하는 강력한 디지털 신호 프로세서 (Digital Signal Processor) 를 갖춘 생산 및 개발 용도의 다용도 도구입니다. 이 퍼니스에는 클로즈드 루프 (closed-loop) 디지털 가열대 제어 및 존 (zone) 측정을위한 강력한 PC 기반 실시간 하드웨어 및 소프트웨어 장비가 장착되어 있습니다. TOKYO ELECTRON Alpha 803D는 2 개의 고성능 저항 가열 공정 챔버 (내부 도가니 및 외부 존) 를 사용하여 안정성이 뛰어난 균일 한 온도를 특징으로합니다. 외부 영역은 가변 주파수 모터에 의해 구동되며 ID 및 OD, PID/PIV 및 시간 제어를 포함합니다. thermocouple 입력 컨트롤러는 자동 조정, 곡선 조작 및 실시간 피드백을 포함하여 5 개의 커브로 온도 프로파일링을 제공합니다. 알파 803D (Alpha 803D) 는 확산, 산화, 질화, 합금, 어닐링 및 기타 반도체 처리와 같은 응용 분야에서 안정적이고 재현 가능한 결과를 보장하도록 설계되었습니다. 프로세스 온도 범위가 최고 1000 ° C, 제어 정확도 ± 2 ° C 및 균일성 ± 3 ° C 인 경우, 이 시스템은 일관되고 고품질 웨이퍼 결과를 제공합니다. 또한 프로세스 일정이 자동화되어 작업을 쉽게 수행할 수 있으며, 전체 프로세스에 대한 자세한 피드백 (feedback) 과 분석 (analysis) 을 제공합니다. TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 803D의 다른 기능으로는 다중 가스 전달 장치, 공기/가스 모니터 (옵션) 및 안전을위한 누수 탐지기, 고온 CCD 카메라 모니터 및 감수기 선택이 있습니다. 이 도구의 뛰어난 성능은 고급 단열재, 누수 방지 (leakage protection) 및 챔버 밀봉 기술로 더욱 향상되었습니다. 요약하면, TEL Alpha 803D는 반도체 장치 제조에 비해 뛰어난 정확성, 신뢰성 및 재현성을 제공하는 고급 확산 로입니다. 다중가스 (Multi-Gas) 제공 자산, 자동화된 프로세스 일정, 온도 프로파일링 및 제어 기능을 통해 개발/운영 애플리케이션을 위한 귀중한 툴이 됩니다.
아직 리뷰가 없습니다