판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 803D #9261383

텔/도쿄 전자 알파 803D (TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 803D) 는 마이크로 전자 장치 제조를위한 필름 증착 및 이온 이식 프로세스를 제공하도록 설계된 고도의 확산 로와 액세서리 장비입니다. 이 시스템은 이중 챔버 (Dual-Chamber), 수직 이동성 강화 확산 로로 (Vertical Mobility Enhanced Diffusion Furnace) 시스템으로, 충분한 증착 시간 내에서 최적의 필름 성장을 가능하게합니다. TEL Alpha 803D 확산 로는 독특한 단일 소스, 이중 챔버 로노스 설계를 특징으로하며, 질량 제한 및 헤비 로드 프로세스와 함께 작동하여 균일성 향상, 보다 효과적인 열 기계, 전구체 종의 플럭스 개선, 레이어 두께 변화 감소, 우수한 확산 성능. 또한 TOKYO ELECTRON Alpha 803D 도구에는 온도, 압력, 시간 설정 등 모든 자산 기능과 개인 보호를위한 내장 안전 기능을 완벽하게 제어하는 고급 PLC (Programmable Logic Controller) 가 포함되어 있습니다. 알파 803D 모델의 용광로 챔버는 0.04 인치 (1mm) 두께의 스테인리스 스틸로 만들어졌으며 섭씨 100 ~ 1,200 도 (화씨 212 ~ 2,192 도) 의 온도 범위를 제공합니다. 이 챔버에는 MIMOT 강화 제어 기술 (MIMOT-enhanced control technology) 이 장착되어 있으며, 챔버 전체의 온도와 균일성을 제어 할 때 유연성과 정밀도를 제공하도록 설계되었습니다. EMT (Enhanced Mobility Technology) 는 독점적 인 이동성 제어 장비로, 확산 수명을 늘리는 동시에 균일하고, 세밀하고, 반복 가능한 증착률을 생산합니다. 모든 고급 기능을 갖춘 TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 803D 시스템은 증착, 에칭 및 이식 과정에서 뛰어난 정확성, 균일성 및 반복 성을 제공합니다. TEL Alpha 803D 장치에는 in-situ 센서, 고효율 입자 분석 기계, 실시간 광학 진단 도구, 다중 채널 가스 전달 장비 등 완전한 특수 액세서리 라인이 있습니다. 이 액세서리는 자산의 유연성과 성능을 대폭 향상시키는 한편, 매우 높은 수준의 안전성과 안정성을 제공합니다. 또한, TOKYO ELECTRON Alpha 803D 모델에는 고급 CVD 챔버 (CVD Chamber) 가 포함되어 있으며, 다양한 장치 제조 응용 프로그램을 가능하게하기 위해 최고 수준의 품질 및 증착 균일성을 생산합니다. 전반적으로 Alpha 803D 장비는 고급 마이크로 전자 장치 제조에 이상적인 선택입니다. 매우 높은 수준의 온도 및 균일성 제어, CVD 및 MIMOT 강화 제어 기술로 탁월한 유연성, 효율적이고 안정적인 제작 경험을 제공하는 완벽한 전문 액세서리 라인 (line of specialized accessory) 을 갖추고 있습니다.