판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 801D #293606609

ID: 293606609
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1995
Furnace, 8" Fork for 1 to 4 Shutter plate Heat insulation U-Box Back-side panel Flange Exhaust duct Anti-vibration fixture Water cooling pipe Exhaust pipe Cable duct Gas pipe Cooling unit Box Quarts Tube Box 1 Quarts Tube Box 2 Quarts Parts Box 3 Quarts Parts Box 4 Missing parts: Gas box M-dot 1995 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 801D는 광범위한 어플리케이션을 위해 설계된 확산 로와 액세서리입니다. 이 장비는 효율적이고 안정적인 방법으로 다양한 기판을 준비하고 개발할 수 있습니다 (영문). 직경 최대 9 "의 기판을 처리 할 수있는 대형 석영 유리 튜브 (large quartz glass tube) 가 특징이며 왜곡 없이 경량 및 온도 민감성 물질을 수용 할 수 있습니다. 또한 표준 가열 요소 (standard heating element) 에서 고급 고온 유도 히터 (advanced high temperature induction heater) 에 이르기까지 다양한 가열 옵션을 사용할 수 있습니다. TEL 알파 801D (TEL Alpha 801D) 에는 강력한 고정밀 온도 조절 기능이 있어 사용자가 주어진 범위 내에서 온도를 정확하게 조정할 수 있습니다. 직원들이 각기 다른 재료와 응용 프로그램의 프로세스 설정을 정확하게 조정할 수 있도록 하는 내장 (BIST) 프로그래밍 가능한 컨트롤러가 포함되어 있습니다. 또한, 다중 센서를 통합하여 확산 과정을 실시간으로 모니터링 할 수 있으며, 801D 챔버 내부에서 고른 온도 분배 (even temperature distribution) 를 제공합니다. TOKYO ELECTRON Alpha 801D는 다양한 크기의 기판을 준비하고 개발하는 효율적이고 안정적인 방법을 제공합니다. 그것 은 "구리 '와" 알루미늄' 합금 기판 을 준비 하기 위한 고급 질화물 도가니 를 가지고 있으며, 녹는점 이 낮고 온도 에 민감 한 물질 을 처리 할 수 있다. 이 시스템은 마이크로 메탈릭 및 서브 미크론 곡물 구조를 보장하기 위해 개선 된 도핑 기술을 가지고 있습니다. 다른 기능으로는 프로그래밍 가능한 비활성 가스 확산 장치, 내장 피로미터 및 열전대, 진공 펌프가 있습니다. 안전성 측면에서 알파 801D (Alpha 801D) 에는 과열 제어 장치 (over-temperature control machine) 와 용광로 과열 방지 안전 스위치 (safety switch) 와 같은 여러 가지 정교한 안전 기능이 제공됩니다. 또한 다기능 디스플레이 화면 (Multi-Function Display Screen) 을 통해 확산 프로세스의 온도를 모니터링할 수 있습니다. 마지막으로, 이 도구는 심각한 전원 장애 (power failure) 를 겪지 않도록 단락 회로 보호 모듈로 설계되었습니다. 결론적으로 TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 801D는 다양한 기판의 효율적이고 안정적인 준비 및 개발을 제공하는 확산 로와 액세서리입니다. 고급 온도 조절 (Temperature Control) 기능과 신뢰성 있는 작동을 보장하는 다양한 안전 기능이 포함되어 있습니다. 또한, 고정밀 질화물 도가니 (crucible) 는 다른 재료 및 응용 분야에서 미세 금속 및 서브 미크론 곡물 구조를 가능하게한다.
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