판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 801D #149843

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 801D는 확산 로와 액세서리입니다. 반도체 제조 및 연구, 다양한 기판에 광학, 전기, 열 계층 (thermal layer) 을 배치하는 등 다양한 산업에서 사용됩니다. 여러 종류의 재료를 동시에 처리하여 복잡한 장치 (complex device) 를 생산할 수 있도록 특별히 설계되었습니다. TEL Alpha 801D는 로드 록 (loadlock) 및 사이드 월 (sidewall) 멤버와 함께 제공되는 수직 확산 로로, 진정한 올인원 패키지입니다. 쿼츠 쿼츠 공정 튜브 (Quartz Quartz Process Tube, QPT) 는 높은 온도를 위해 설계되었으며, 우수한 동질성을 가진 비금속 및 금속 물질의 확산을 가능하게합니다. 공정 챔버에는 6 구역 공동 기반 난방 장비가 추가로 장착되어 있으며, 이는 대용량 제품 실행 중에도 균일 한 온도를 제공합니다. 또한, 샘플 변경 기능 및 흐름 제어 시스템 (flow control system) 을 사용하면 처리 주기 전반에 걸쳐 좋은 열 균일성을 얻을 수 있습니다. 퍼니스는 온도 센서 (temperature sensor) 와 컨트롤러 (controller) 로 제작되어 프로세스 챔버의 온도 조건과 관련하여 사용자에게 실시간 데이터를 제공합니다. 이 데이터는 컨트롤러의 LCD 화면이나 포함된 SCADA 소프트웨어를 통해 표시할 수 있습니다. 이 용광로에는 자동 방식으로 반응물 가스를 도입 할 수있는 통합 가스 전달 시스템 (gas delivery system) 과 안전한 작동을 보장하는 안전 컨트롤러 (Safety Controller) (옵션) 가 제공됩니다. TOKYO ELECTRON Alpha 801D는 2 "~ 8" 사각형의 여러 유형의 기판을 수용 할 수 있으며, 이는 선택적 기판 처리 기계로 처리 할 수 있습니다. 또한 더 나은 밀봉을위한 아스팔트 밀봉제 (asphalt sealant) 가 제공되어 누출 또는 마이크로 크래킹 (microcracking) 을 위험없이 더 높은 온도의 확산을 허용합니다. 알파 801D (Alpha 801D) 는 확산 층의 정확한 생산뿐만 아니라, 높은 정확도로 열 처리를 수행하는 강력하고 다양한 도구입니다. 균일 한 온도 분포, 고온 작동, 신뢰할 수있는 샘플 변경 도구 및 통합 가스 전달 자산 (integrated gas delivery asset) 은 다양한 기판에서 금속층의 안정적이고 정확한 증착을 보장합니다.