판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 801C #9396147

TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 801C
ID: 9396147
Furnace.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 801C는 고급 노드로 이동하려는 Fabs를 위해 설계된 차세대 확산 로와 액세서리 장비입니다. 이 제품은 정교한 마이크로 프로세싱 (micro-processing) 기술과 wafer fabrication에서 탁월한 성능 수준을 제공하므로 알루미늄 금속화 (aluminum metalization) 및 기타 여러 프로세스에서 가장 어려운 작업에 적합합니다. 이 시스템은 밀도가 단단하고 밀도가 높은 고품질, 매우 얇은 필름을 제작할 수 있습니다. 이것은 고급 확산 엔지니어링, 대형 가스 흐름 및 온도 균일성을 통해 달성됩니다. TEL Alpha 801C에는 대형 흑연 보트와 가열 전 구역도 있습니다. TOKYO ELECTRON Alpha 801C에는 우수한 성능을 보장하는 강력한 자동 제어 장치가 장착되어 있습니다. 이를 통해 사용자는 속도 (speed) 와 온도 (temper non-uniformity) 사이의 이상적인 균형을 유지할 수 있지만 프로세스 조건은 항상 제어됩니다. 중앙 제어 장치 (Central Control Unit) 는 원격 진단 기능을 갖춘 대형 기술 디스플레이를 보여 주므로 매우 쉽게 프로세스를 액세스, 모니터링, 제어할 수 있습니다. Alpha 801C에는 일련의 뛰어난 안전 및 예방 유지 관리 기능도 있습니다. 이 제품은 매우 유연한 플랫폼을 갖추고 있으므로 모든 표준 프로세스에 쉽게 통합할 수 있습니다. 효과적인 누출 탐지기는 고온 사고에 대한 최대의 보호를 보장합니다. 과열 시 불필요한 손상을 피하기 위해 가열 요소도 모니터링됩니다. TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 801C는 일련의 고급 가스 흐름 및 온도 균일 성을 제공합니다. 가변 흐름 (Variable-flow) 기능을 사용하면 공구 압력에 관계없이 주어진 가스 흐름을 유지할 수 있으며, 프로세스 실행 중에 더 높은 균일성을 제공합니다. 에셋에는 다양한 온도 조절 옵션도 포함되어 있어 정확성과 정확성을 보장합니다. TEL Alpha 801C (TEL Alpha 801C) 는 고급 노드의 엄격한 프로세스 요구 사항을 충족하도록 설계된 뛰어난 확산 로와 액세서리 모델입니다. 높은 수준의 성능과 뛰어난 균일성을 제공합니다. 직관적인 제어 장비, 통합 안전 (Integrated Safety), 예방 유지 보수 (Preventive Maintenance) 기능을 통해 고급 노드로 이동하려는 모든 FAB 를 선택할 수 있습니다.
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