판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 801C #293608657

텔/도쿄 전자 알파 801C (TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 801C) 는 다양한 프로세스의 효율성과 품질을 향상시키기 위해 설계된 확산 로와 함께 제공되는 액세서리입니다. 이 특정 패키지에는 100kW (최적화 된 전원 공급 장치) 가 장착되어 있어 높은 생산에 보다 안정적이고 정밀한 제어가 가능하며, 파장 범위가 0.3 ~ 5hm인 2 개의 고감도 광학 피로미터 (pyrometer) 가 포함되어 있어 정확한 온도 설정과 프로세스 측정이 가능합니다. 추가적인 견고한 기본 프레임 (base frame) 구조는 작동 중 안전성과 안정성을 향상시키는 반면, AI 기반 온도 조절 장비는 가장 정확하고 일관된 프로세스 조건을 보장합니다. 또한이 패키지에는 저 진공, 확산 및 CVD 프로세스의 제어를 개선하기위한 2 개의 펌핑 시스템이 포함되어 있습니다. TEL Alpha 801C (TEL Alpha 801C) 에는 다양한 작동 모드 및 설정을 지원하는 컨트롤러 장치가 장착되어 있습니다. 이것은 최대 온도, 추적 간격 (tracking interval) 을 설정하고 정확한 온도 범위를 유지하는 데 사용될 수 있습니다. 또한 부분 장비 장애를 자동으로 감지하여 운영 중 다운타임을 최소화할 수 있도록 설계되었습니다 (영문). 또한 컨트롤러에는 다른 프로세스에 맞게 조정할 수 있는 미리 프로그래밍된 매개 변수 설정이 제공됩니다. 표준 패키지에는 처리 전후의 웨이퍼 서피스를 테스트하고 모니터링할 수 있는 품질 보증 (Quality Assurance) 모듈이 함께 제공됩니다. 이것 은 최고 의 질 의 제품 이 공급 되고 오염 물질 (예: 먼지, 금속 파편 등) 이 제거 되기 위한 것 이다. 여기에는 처리 후 및 웨이퍼 전송 전에 표면 오염 물질을 정확하게 시각화 할 수있는 자동 품질 보증 (Automated Quality Assurance) 기능이 포함됩니다. 마지막으로, TOKYO ELECTRON Alpha 801C는 생산 중 다운타임을 줄이기 위해 유지 보수 및 청소가 용이하도록 설계되었습니다. 여러 기능을 통해 청소와 유지 관리를 빠르고 효율적으로 처리할 수 있습니다. 여기에는 유지 관리하기 쉬운 여과 시스템, 구성 요소를 쉽게 제거하고 교체 할 수있는 잠금 장치 (locking unit), 분리 및 배수를위한 드레인 밸브 (drain valve) 및 챔버 (chamber) 및 머신을 청소하는 자동 스크러빙 시스템 (scrubbing system) 이 포함됩니다. 간단히 말해서, 알파 801C (Alpha 801C) 는 광범위한 생산 과정에서 최고 수준의 정확성과 효율성을 보장하도록 설계된 최적화된 확산 로와 함께 제공되는 액세서리 패키지입니다. 여기에는 최신 컨트롤러 장치, 품질 보증 및 유지 보수 기능, 정밀 온도 및 공정 측정을위한 2 개의 고감도 광학 피로미터 (optical pyrometer) 가 포함됩니다.