판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8 #9412409

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8은 산화, 어닐링 및 확산과 같은 열 과정을 수행하도록 설계된 최첨단 확산 로입니다. 반도체 소자의 형성, 박막 증착, 전자 부품의 포장, 도펀트 (dopant) 및 오염 수준 제어 등 다양한 산업 분야에서 사용할 수 있습니다. TEL Alpha 8 (TEL Alpha 8) 은 모듈식 설계로 기능의 사용자 정의 및 확장, 필요한 경우 손쉬운 유지 관리 및 수리를 지원합니다. 용광로 자체는 고성능 흑연 단열재 (graphite insulation) 를 가지고 있으며, 열 손실에 강하며, 이중 배열 방열관 (double-end heat shield tube) 은 우수한 열 전달과 낮은 염기 온도를 제공합니다. 고속 "팬 '이 장착 되어 있는데, 이" 팬' 은 용광로 전체 를 통하여 균일 한 온도 를 유지 하는 데 도움 이 되며, 또한 용광로 를 안전 하게 봉인 하는 데 사용 되는 공압 간극 밀봉 장비 를 이용 하여 "가스 '나" 가스' 의 누출 을 방지 한다. TOKYO ELECTRON Alpha 8에는 Susceptor Cartridge, Crucible, Implantation Pin Assembly 및 Heater Pack을 포함한 다양한 액세서리가 장착되어 있습니다. 서셉터 카트리지 (Susceptor Cartridge) 는 용광로에 적재 할 때 샘플을 컨테이너화하는 데 사용되며 Crucible은 액체 실리콘 (Silicon) 및 게르마늄 (Germanium) 과 함께 사용하도록 설계되었습니다. 이식 핀 어셈블리 (Implantation Pin Assembly) 는 필라멘트, 마스크 및 이식 핀을 고정하는 데 사용되며 히터 팩 (Heater Pack) 은 용광로의 온도를 모니터링하고 제어하는 데 사용됩니다. Alpha 8에는 VDPCS (Vacuum Deposition Process Control System) 및 RMCS (Recipe-Mode Control Unit) 와 같은 고급 제어 기능이 있습니다. VDPCS (VDPCS) 는 프로세스 조건과 온도를 모니터링하여 프로세스의 자동 제어, 일관된 결과를 제공합니다. RMCS (RMCS) 를 사용하면 프로세스 레시피를 저장, 재사용 및 수정할 수 있으므로 시간이 지남에 따라 결과를 구체화하고 개선할 수 있습니다. 또한, TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8에는 적분 입자 모니터링 머신이 있으며, 이는 과정에서 오염을 일으킬 수있는 입자를 감지하고 측정하는 데 도움이됩니다. 이는 제조 부품의 품질과 정확성을 보장하기 때문에 고정밀 (high-precision) 프로세스에 특히 중요합니다. 전반적으로, TEL 알파 8 (Alpha 8) 은 품질 확산 로이며, 액세서리는 다양한 산업 응용 프로그램의 요구를 충족시킬 수있는 다양한 옵션을 제공합니다. 고급 제어 기능, 탁월한 열 전달 도구, 단열재 (insulation), 쉽게 액세스 가능한 구성 요소 등을 통해 신뢰할 수 있고 사용자에게 편리합니다.