판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8 #9398274

TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8
ID: 9398274
웨이퍼 크기: 8"
Furnace, 8".
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8은 다양한 응용 분야를위한 고급 온도 조절 솔루션을 갖춘 확산 용광로 장비입니다. 특유의 듀얼 스테이지 설계로 인해 매우 높은 열 균일성 (thermal unifority) 과 낮은 열 변동률을 제공합니다. 이 시스템에는 2 구역 저 방열성 상실과 단일 구역 고 방열성 하단 챔버가 포함되어 있어 유연한 난방 분배가 가능합니다. 이 제품은 전자 온도 컨트롤러 (Electronic Temperature Controller) 및 데이터 로깅 (Data Logging) 기능과 더불어 과열 및 과전압에 대한 완벽한 보호 기능을 갖추고 있습니다. TEL Alpha 8의 온도 범위는 200-1350 (으) 로 동일한 기판에서 여러 작업을 수행 할 수 있습니다. 산화 온도 (oxidation temperation) 는 사용 된 산화 과정의 유형에 관계없이 단일 설정으로 설정 할 수 있습니다. 이 용광로는 또한 열 손실 설계 (thermal loss design) 가 낮아 높은 에너지 효율, 시간 및 비용을 절감합니다. 이 장치는 또한 산화 생성물이 공정 챔버를 교차 오염시키는 것을 방지하는 고급 가스 재순환 기계 (advanced gas recirculation machine) 를 구현함으로써 오염을 최소화합니다. 또한 휘발성과 부식성 가스를 효율적으로 제거하여 귀중한 부품에 이상적입니다. 또한, 공구의 온도 균일성은 기존 모델보다 2 배 좋으며, 가스 냉각 효율은 기존 모델보다 최대 50 배 높습니다. TOKYO ELECTRON Alpha 8의 우수한 온도 조절은 산화 과정을 정확하게 제어 할 수 있습니다. 또한 "프로그램 '할 수 있는 기능 을 갖춘 지능형" 컨트롤' 장치 를 갖추었는데, 그것 은 그 장치 의 최상 의 결과 를 실현 하기 위해 쉽게 작동 할 수 있다. 직관적인 그래픽 인터페이스는 작업과 유지 관리를 단순화합니다. 또한 Alpha 8은 저전압 저항, 저전압 출력, 상승 속도 타이머 (rate-of-rise timer) 및 내결함성 허브 (fault tolerant hub) 와 같은 안전 기능을 제공합니다. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 확산로 및 액세서리는 태양 광 발전, 반도체 생산 및 장비 제조와 같은 많은 산업을위한 강력한 도구입니다. 고급 기능은 유연성, 뛰어난 성능 및 데이터 로깅 기능을 제공합니다. TEL 알파 8 (TEL Alpha 8) 은 다양한 온도 범위와 탁월한 열 제어를 통해 생산 프로세스를 한 단계 높이려는 모든 사람에게 이상적인 선택입니다.
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