판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8 #9387936

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8은 단일 웨이퍼, 배치 작동, 확산 용광로 장비입니다. 이 시스템은 다이오드, 트랜지스터, 집적 회로와 같은 반도체 장치에 고성능 금속 증착, 산화, 어닐링 프로세스를 제공하도록 설계되었습니다. 이 장치는 100mm ~ 300mm 범위의 다양한 웨이퍼 유형과 크기를 처리할 수 있는 올인원 (All-in-one) 설계를 갖추고 있습니다. 고온 지대, 고속 대류 지대, 고립 된 독립 제어 지대가 장착되어 있습니다. 이 기계에는 프로그래밍 가능한 프리 히트 존 (preheat zone), 향상된 열 안정성을위한 극저온 존 (cryogenic zone) 및 빠른 유지 보수 및 청소를위한 클린 인 플레이스 CIP 도구가 포함됩니다. 용광로 에는 또한 온도, 압력, "가스 '유속" 데이터' 를 읽어 내는 "디지털 '디스플레이 가 있어서 공정 전체 에 걸쳐" 웨이퍼' 를 쉽게 감시 할 수 있다. TEL 알파 8 (Alpha 8) 은 또한 자산 성능을 저하시키지 않고 프로세스 매개변수를 쉽게 확장하거나 수정할 수 있는 고급 소프트웨어를 제공합니다. 고급 기능을 갖춘 TOKYO ELECTRON ALPHA-8 (TOKYO ELECTRON ALPHA-8) 은 중요한 프로세스에 탁월한 균일성과 반복성을 제공하여 연구 및 생산 환경 모두에서 탁월한 선택입니다.