판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8 #9373152
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판매
ID: 9373152
Furnace, 8"
Process: Alloy
I/O Port
(126) Process wafers
No load lock
25-Carrier slots
Boat type: Single
PS4100Z Controller
Operation screen: Touch screen
Gas flow chart: Front and rear
M120 Temperature controller
Controller transformer: 208 V, Single phase
Heater transformer: 208 V, 3-Phase
Gases:
Gas 1: PN2
Gas 2: FO (4%, H2/N2)
Gas distribution:
Basic style: Conventional
Tubing material: SUS-316L
Tubing finish: VCR
Air operated valve: FUJIKIN
AERA MFC
No cold trap
No pump line
Exhaust distribution:
Air operated valve type: VCR Connect
Main valve: FUJIKIN
Wafer / Cassette handling:
No wafer alignment
(16) Cassette storage
Cassette In/Out port
Cassette handling robot
Wafer transfer
Fork material: Ceramic
Elevator handling:
Boat elevator
Auto shutter
Boat rotation
Mechanical parts
Heating chamber:
Heater type: VMM-35-001
(5) T/C Type
(5) Spike T/C.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8은 소규모 엔지니어링, 재료 과학 및 마이크로 일렉트로닉스 응용 분야에 이상적인 최첨단 확산 로와 액세서리입니다. 가장 까다로운 요구 사항을 충족하기 위해 높은 처리량, 안정성, 뛰어난 성능을 제공합니다. TEL Alpha 8은 4 구역 수평 소스와 고급 웨이퍼 벨트 디자인을 사용합니다. 이 설계를 통해 처리 시간이 길어 시간당 최대 36 개의 웨이퍼를 처리할 수 있습니다. 모든 시스템 매개변수를 모니터링하고 제어할 수 있는 10 "컬러 터치 스크린 (color touch-screen) 이 있는 패널 뷰 작업이 특징입니다. 이 장치는 다른 프로세스 조건에 자체 조정하도록 프로그래밍 될 수 있으며, 교정을 빠르고 정확하게 만들 수 있습니다. TOKYO ELECTRON ALPHA-8은 섭씨 1045 도의 최대 온도에서 작동하며, 정밀한 온도 제어를 위해 이중 고체 RF 난방 시스템과 여러 가스 소스를 갖추고 있습니다. 또한 불활성 가스-웨이브 가이드 (inert gas-waveguide) 시스템을 제공하여 방을 가열하고 식힐 수 있습니다. 내장 안전 기능에는 마이크로 컴퓨터 제어 인터 록, 압력 모니터링, 온도 모니터링 및 특수 저온 비상 정지 시스템이 포함됩니다. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8에는 가스 패널, 압력 컨트롤러, 프로세스 모니터, 데이터 레코더, 별도의 확장 및 로딩 장치 등 다양한 액세서리가 있습니다. 가열된 샘플 로드 잠금 (load-lock) 도 사용할 수 있으므로 한 프로세스에서 다른 프로세스로 빠르게 온도 전환이 가능합니다. 이 장치는 가장 엄격한 국제 안전 요구 사항 (International Safety Requirements) 을 충족하도록 설계되었으며 일일 마모와 눈물을 흘리도록 설계되었습니다. 전반적으로 알파 8 (Alpha 8) 은 안전하고 신뢰할 수있는 확산 로가 필요한 연구원 및 엔지니어에게 훌륭한 선택입니다. 이 제품은 다양한 재료 과학 및 마이크로 일렉트로닉스 어플리케이션 (microelectronics application) 에 대한 탁월한 성능과 정밀 제어 기능을 제공하며, 정교한 운영 및 독특한 디자인 기능으로 인해 오늘날 시장에서 최고의 용광로 중 하나입니다.
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