판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8 #9243887

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8은 반도체 등급 웨이퍼의 제조 공정을 위해 설계된 확산 용광로 및 액세서리입니다. 이것 은 단일 "디퓨저 '실 과 그 과정 을 위한 여러 가지" 액세서리' 를 포함 한 대형 인쇄 장비 이다. 주요 구성 요소는 단일 디퓨저 챔버 (diffuser chamber) 로, 반도체 웨이퍼 (wafer) 의 표면 및 가장자리에 필름을 배치하는 데 사용되는 열 처리 장비의 한 유형입니다. 가스 유통 시스템, 고압 펌핑 장치, 프로그래밍 가능한 컨트롤 패널이 장착되어 있습니다. 챔버 (Chamber) 는 개별 프로세스의 요구를 충족시키기 위해 사용자 정의 될 수 있으며, -100 C ~ + 1310 C의 다양한 온도에서 사용될 수 있습니다. 가스 분배 기계는 짝수, 일관된 온도 및 잘 제어 된 프로세스에 대한 정확한 가스 혼합을 제공하기 위해 사용됩니다. 고압 펌핑 도구 (pumping tool) 는 챔버의 압력을 정확하게 변화시킬 수 있으며, 진공원에서 가압 가스 및 가스를 증가시킬 수 있습니다. 프로그래밍 가능한 제어판은 프로세스가 안전하고 효과적으로 수행되도록 합니다. 확산 용광로 및 액세서리 패키지와 함께 제공되는 액세서리에는 석영 대류 튜브, 쇼어 헤드, 장착 브래킷, 도어 고무 및 웨이퍼 홀더가 포함됩니다. 석영 대류 튜브 (Quartz Convection Tube) 는 표면이 초고온에 직접 노출되지 않도록 설계되었으며, 샤워 헤드는 챔버 전체에 가스를 균등하게 분배하는 데 도움이 될 수 있습니다. 장착 브래킷 (mounting bracket) 은 구성 요소를 챔버 벽에 고정시키는 데 사용되며, 도어 러버 (door rubber) 는 챔버에 단열재를 제공합니다. 마지막으로, 웨이퍼 홀더는 챔버에있는 동안 웨이퍼를 안전하게 유지 할 수 있습니다. TEL Alpha 8 확산 로와 액세서리의 고급 성능은 반도체 등급 웨이퍼를 제조하는 데 효과적인 도구입니다. "가스 '의 온도 범위 는 여러 가지 과정 에 사용 되며, 그" 가스' 분배 자산 은 정밀 한 과정 을 위해 보다 균등 한 "가스 '분포 를 제공 한다. 또한, 패키지에 포함 된 추가 액세서리는 안전성을 높이고 모델의 적절한 설치를 용이하게합니다. 이를 통해 TOKYO ELECTRON ALPHA-8 확산은 고품질 웨이퍼를 생산하기에 이상적인 선택입니다.