판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8 #9243886

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8은 초대형 통합 (ULSI) 회로 제조를 지원하도록 특별히 설계된 확산 로와 관련 액세서리입니다. 이 최첨단 통합 툴셋은 다양한 가스 전달 장비, 신속한 열 처리, 멀티 존 (Multi-Zone) 핫 월 퍼니스와 같은 다양한 정교한 기술을 갖추고 있습니다. 이러한 기능과 기타 기능을 갖춘 TEL Alpha 8은 최첨단 ULSI 기술을 만드는 데 효과적인 도구입니다. TOKYO ELECTRON ALPHA-8 확산 로에는 대형 웨이퍼 크기를 수용하기 위해 최대 8 개의 로딩 슬롯이 장착 된 가열 존 (zone) 디자인이 있습니다. 다중 가스 전달 시스템은 용광로 및 웨이퍼 표면을 청소하고 도핑 및 확산을 지원하기 위해 다양한 가스 (예: N2, O2 및 SF6) 를 제공합니다. 이 "가스 '장치 는 가장 균일 하고 정확 한" 가스' 분산 을 보장 하기 위하여 독점 "알고리즘 '에 의하여 조절 된다. 용광로는 빠른 열 프로세스 (Rapid Thermal Process) 를 사용하여 웨이퍼 표면의 재료를 빠르게 연관, 활성화, 임베드 및 확산시킵니다. 이 고급 프로세스는 프로세스 시간을 크게 단축하는 한편, 균일성, 반복성, 수익률을 높일 수 있습니다. 이 과정을 더욱 향상시키기 위해 TEL ALPHA-8은 또한 주어진 존 (zone) 내에서 웨이퍼에 열을 균등하게 분배하는 멀티 존 (multi-zone) 핫 월 퍼니스를 특징으로합니다. 이것은 표면에서 일관된 온도 균일성을 보장합니다. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8 (TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8) 은 제작자가 전례없는 속도와 정확도로 ULSI 기술을 만들 수 있도록 고도의 확산 로와 액세서리 세트입니다. 멀티 가스 전달 기계, 빠른 열 공정 및 멀티 존 (multi-zone) 핫 월 퍼니스는 탁월한 성능과 최고의 균일성을 제공합니다. 도쿄 전자 알파 8 (TOKYO ELECTRON Alpha 8) 을 통해 기업들은 최신 ULSI 제조에서 우위를 점할 수있는 통합 툴셋을 보유하고 있습니다.