판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8 #9071279

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8은 확산 로와 액세서리로, 박막 증착 작업에 가장 효율적이고 경제적인 성능을 제공합니다. TEL Alpha 8 (TEL Alpha 8) 은 다양한 고급 프로세스 기능과, 용광로의 설치, 조정, 모니터링을 그 어느 때보다 쉽고 효율적으로 하는 혁신적인 제어 아키텍처를 갖추고 있습니다. 인체 공학적으로 설계되고 직관적인 소프트웨어를 통해 운영자는 매개변수, 프로그램, 액세스 데이터를 빠르고 정확하게 조정할 수 있습니다. 독자적인 저방출 (low-emission) 설계는 일관성 있는 고품질 제품을 생산하는 깨끗하고 효율적인 용광로를 제공합니다. TOKYO ELECTRON ALPHA-8은 최대 4 개의 2 인치 직경 웨이퍼 및 대형 기판을 수용하도록 설계된 넓은 챔버를 갖추고 있습니다. 넓은 디자인을 통해 많은 방이 도넛 소스 (daughnut source) 와 챔버 (chamber) 내에 위치한 다른 요소를 조정할 수 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8의 고온 기능은 RTP (Rapid Thermal Process) 응용 프로그램의 경우 최대 1275 ° C, 정적 응용 프로그램의 경우 최대 550 ° C에 이릅니다. 이중 벽 구조는 벽 사이에 뛰어난 단열을 제공하여 열 손실을 방지하고 온도 균일성을 최대화합니다. 가열식 챔버 (heated chamber) 에는 반응물을 시스템에 도입하기위한 증기 공급원이 장착되어 있으며, 특허를받은 3 방향 차단 밸브 (three-way shut valve) 는 챔버를 언제든지 격리하고 제거 할 수 있습니다. 알파 -8 (ALPHA-8) 의 온도 균일성은 다양한 증착 기술에 맞게 조정 될 수있는 고급 배기 시스템을 통해 유지됩니다. 내장형 데이터 로깅 시스템을 통해 운영자는 과거 데이터를 검토하여 번거로운 매개변수를 조사하거나 프로세스 조정 (process adjustment) 을 수행할 수 있습니다. 매개 변수, 프로그램, 설정을 메모리 카드에 저장할 수 있으므로 여러 TOKYO ELECTRON Alpha 8 장치로 프로그램 정보를 빠르고 쉽게 전송할 수 있습니다. 온보드 저항 측정기 (On Board Resistivity Meter) 를 사용하면 필름 저항에 대한 피드백을 제공하여 프로세스 조건의 변경을 추적하고 필요에 따라 설정을 조정할 수 있습니다. 최적의 생산성을 보장하기 위해 TEL ALPHA-8에는 여러 존 (Zone) 컨트롤러가 장착되어 있어 하나의 컨트롤러로 여러 영역을 제어할 수 있습니다. 알파 8 (Alpha 8) 은 각도 증착을위한 로터리 웨이퍼 서셉터 (rotary wafer susceptor), 필름 증착을 관찰하는 쿼츠 뷰어 창, RTP 응용 프로그램의 이온 소스와 같은 다양한 추가 기능을 제공합니다. 이러한 모든 기능은 다양한 요구 사항과 프로세스에 적합한 고급 (advanced) 기능을 제공합니다. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 (TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8) 은 사용자에게 모든 증착 요구를 충족시키기 위해 고급적이고 신뢰할 수있는 확산 로와 액세서리를 제공합니다. TEL Alpha 8은 직관적인 기능, 고급 제어 아키텍처, 다중 영역 제어, 뛰어난 온도 균일성을 갖춘 경제적이고 안전한 선택입니다.