판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8 #293816668
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TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8은 최첨단 MEMS 재료 처리 기술을 지원하기 위해 설계된 고성능 확산 로입니다. 뛰어난 균일성, 뛰어난 균일성 및 뛰어난 재현성을 통해 초고품질의 MEMS 장치를 제공합니다. 이 모델의 로드 용량은 최대 8 인치이며, 다양한 어플리케이션을 사용할 수 있습니다. 정교한 디자인은 쿼츠 유리관 (quartz glass tube) 구조부터 특수 코팅 된 스테인리스 스틸 (stainless) 내부 챔버까지 여러 보호 층으로 제작되었습니다. 이것은 (1) 챔버 내 온도의 우수한 균일 성과 (2) 최적의 산화 조절 및 균일 한 온도 분포를 위해 우수한 공기 흐름 특성을 보장합니다. 또한, 안전성을 추가하기 위해 용광로 챔버 주위에 고도로 보호 된 세라믹 절연 층이 있습니다. 용광로는 수평 또는 수직 공정 챔버로 작동 할 수 있습니다. 컴팩트한 디자인과 분리형 (Detachable) 설계를 통해 모든 작업 영역에 손쉽게 설치하고 설치할 수 있습니다. 저 냄새, 환경 친화적 인 단상 할로겐 냉장고는 시간이 지남에 따라 챔버 온도를 정확하게 안정적으로 유지하는 데 사용됩니다. 기존의 확산 장비와 비교하여 TEL Alpha 8은 에너지 소비를 크게 줄여 뛰어난 성능을 제공합니다. 이것은 정밀 온도 조절이 가능한 고급 PID 기술 덕분에 가능합니다. 또한, 다중 단계 온도 조절 시스템 (multi-stage temperon control system) 은 원하는 램프 속도를 유지하면서 용광로의 확산 특성을 정확하게 제어 할 수 있습니다. 용광로에는 가스 압력 및 균일성 모니터링을위한 내장 열 센서 (내장) 와 같은 다른 기능도 있습니다. 또한 정확한 온도 측정을위한 적외선 피로미터가 포함되어 있습니다. 결과적으로 TOKYO ELECTRON ALPHA-8 확산 로는 우수한 제품 품질을 보장하고 경제적인 MEMS 생산에 대한 향상된 수율을 제공 할 수 있습니다.
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