판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8 #293738371

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8은 반도체 칩과 같은 전자 부품 제조를 위해 설계된 최첨단 확산 로입니다. 이 확산 로에는 탁월한 온도 조절 (temperature control) 과 압력 제어 (pressure control) 가 가능한 고급 기술이 장착되어 있습니다. 또한 최대 8 웨이퍼/h의 최적화 된 출력 효율성을 제공합니다. TEL Alpha 8은 저압 단일 웨이퍼 가열 보유 챔버를 특징으로합니다. 재료의 확산, 특히 온도에 민감한 기판에 적합한 환경을 제공합니다. 또한 혁신적이고 조절 가능한 소스 전원 제어 장치 (source power-control unit) 를 사용하여 확산 전류를 조정하여 프로세스 일관성이 가장 높습니다. 이 확산 퍼니스는 또한 처방전 시퀀스, 셧다운 시퀀스, 최적 온도 유지 관리, 압력, 플럭스 피드 속도 제어 (flux-feed rate control) 등 개별 웨이퍼 프로세스의 정확한 모니터링을 지원하는 통합 자동화 시스템을 갖추고 있습니다. TOKYO ELECTRON ALPHA-8에는 안전하고 효율적인 작동을위한 잘 설계된 전기 시스템도 있습니다. 모든 가시 회로마다 2 개의 독립적 인 회로가 있으며, 확산 과정에서 안전을 보장합니다. 그 절연체 는 질 이 가장 높으며, 온도 조절 장치 는 각 "응용프로그램 '에서 최적 의 온도 를 유지 할 수 있다. 알파-8 (ALPHA-8) 은 다용도 도구이며, 특정 응용 프로그램에 통합 될 수있는 많은 추가 액세서리가 있습니다. 여기에는 RF 방열판 홀더, 할로겐 램프, 먼지 수집 더스트 팬, 확산 프로세스 지원을위한 대규모 플랫폼이 포함됩니다. 또한, 확산 과정을 효율적으로 완료하기 위해 쿼츠 튜브 (quartz tube), 스프링 (springs) 및 어댑터 (adapter) 를 포함한 다양한 추가 구성 요소를 사용할 수 있습니다. 마지막으로 알파 8 (Alpha 8) 은 우발적 충격을 방지하고 항상 적절한 운영을 보장하기 위해 추가 예방 조치를 취함으로써 프레임 워크 내에서 안전성을 강조합니다. 최대한의 안전성과 편의를 위해 비상 정지 버튼 (Emergency Stop Button), 비상 차단 밸브 (Emergency Shut-off Valve) 및 빠른 분리 플러그가 장착되어 있습니다. TOKYO ELECTRON Alpha 8 은 EMC 및 FCC 표준을 준수하도록 설계되어 있어 장기적인 안정성과 탁월한 성과를 보장합니다.