판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8 #293637527

TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8
ID: 293637527
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1998
Furnaces, 8" 1998 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8은 반도체 웨이퍼 제조를 위해 특별히 설계된 최첨단 확산 로와 액세서리 시스템입니다. 다른 모델에 비해 뛰어난 균일성, 온도 안정성 및 생산 처리량을 제공합니다. TEL Alpha 8은 업계에서 가장 큰 6 인치 조명 챔버가있는 멀티 존 (multi-zone) 프로세스 모듈입니다. 이 높은 수준의 가시성은 확산 과정에 대한 최적의 관찰 및 샘플링을 용이하게합니다. TOKYO ELECTRON Alpha 8 (TOKYO ELECTRON Alpha 8) 은 고급 컨트롤러와 전용 원격 PC 등 다양한 고성능 기능을 제공하여 균일성을 높이고 주기 시간을 단축합니다. 고급 멀티 존 (multi-zone) 공정 모듈은 8 개의 독립적으로 제어되는 용광로 영역과 최첨단 전원 공급 기술로, 전체 빌드 속도에 빠르게 도달합니다. 또한 대규모 챔버 (large chamber) 를 통해 프로세스 유연성이 향상되고 프로세스 모듈을 손쉽게 추가할 수 있습니다. Alpha 8 임베디드 컨트롤러에는 직관적인 인터페이스, 간편한 유지 관리 표시기, 프로세스 매개변수 모니터링을 위한 광범위한 로깅 기능 등이 포함되어 있습니다. 또한 다양한 프로그램이 포함되어 있어 온도, 압력, 진공 등 다양한 프로세스 변수를 손쉽게 제어할 수 있습니다 (영문). TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8의 최첨단 액세서리는 확산 프로세스 경험을 더욱 향상시킵니다. 냉장 장착 보드 (cold mounting board) 와 스핀 에처 (spin etchers) 는 빠르고 쉽게 교체하는 반면, 석영 보트와 트레이는 균일 한 잔기와 깨끗함을 보장합니다. 비활성 가스 전달 시스템은 입자 제어를 향상시키고 사용자에게 더 큰 안전을 제공합니다. TEL Alpha 8은 탁월한 균일성과 처리량을 추구하는 기업을위한 이상적인 확산 로와 액세서리 시스템입니다. 대형 조명 챔버 (Lighted Chamber), 강력한 컨트롤러 (Powerful Controller) 및 다양한 액세서리를 통해 반도체 웨이퍼 제조를 선택할 수 있습니다.
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