판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8 #293594535

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8은 TEL이 개발 한 확산 로와 관련 액세서리입니다. 고급 증착 응용 프로그램을 지원하도록 설계되었습니다. 이 고급 장비에는 통합 처리 솔루션용 2 단계, zone-control furnace, 독립 프로세스 챔버, 고급 소프트웨어 제어 패키지가 모두 하나의 패키지로 포함되어 있습니다. TEL Alpha 8은 10:1 공정 제어 정확도로 최대 2500 ° C의 고온 난방 범위를 제공합니다. 퍼니스에는 강력한 "크로스 레벨 (cross-level)" 온도 조절 패키지와 완전히 조절 가능한 산소 센서가 포함되어 챔버 전체에서 균일성을 보장합니다. 또한, 이 시스템은 여러 가지 가스 흐름 제어 모드와 실리콘 카바이드 절연을 제공하여 빠르고 균일 한 사이클 시간, 뛰어난 반복성을 보장합니다. 포함 된 공정 챔버는 부식 내성, 낮은 유지 보수 작업 및 높은 수준의 공정 제어를 제공합니다. 이 장치는 또한 자동 재료 로딩 및 언로딩, 진공 수준 조절기, 비활성 가스 장비 패키지, 비활성 가스 압력 조절기 및 인시 투 (in-situ) 및 엑시 투 (ex-situ) 처리에 대한 비활성 가스 매니 폴드를 제공합니다. 또한 TOKYO ELECTRON Alpha 8은 모든 주요 프로세스 매개 변수를 포괄적으로 제어하는 맞춤형 소프트웨어 제어 패키지를 제공합니다. 여기에는 에뮬레이션, 매개변수 조정, 예기치 않은 상황에 대한 복구 옵션 (복구 옵션) 을 쉽게 사용할 수 있도록 그래픽 디스플레이가 포함된 모든 기능이 포함된 사용자 인터페이스가 포함됩니다. 이 기계에는 현장 모니터링 및 자동 튜닝을위한 고급 디지털 데이터 획득 패키지도 포함되어 있습니다. 알파 8 (Alpha 8) 은 하이엔드 증착 응용 프로그램을위한 강력한 확산 로와 관련 액세서리 패키지입니다. 넓은 온도 범위, 정확한 제어 패키지, 완전히 조절 가능한 산소 센서를 제공하여 챔버 전체에 균일성을 보장합니다. 공정 챔버는 부식 내성, 낮은 유지 보수 운영 및 자동 재료 로딩 및 언로드를 제공합니다. 또한 TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8에는 모든 주요 프로세스 매개 변수를 포괄적으로 제어하는 강력한 소프트웨어 제어 패키지가 제공됩니다.