판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #9412408

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i는 필름 증착, 배치 프로세스 및 단일 웨이퍼 프로세스에 사용되는 확산 용광로 및 액세서리 장치입니다. 이 장치 는 "실리콘 ', 산화물, 질화물 등 여러 기질 에 박막 을 만드는 데 이상적 이다. 효율적이고, 비용 효과적이며, 고품질 영화를 제작할 수 있습니다. TEL ALPHA-303I는 3 가지 필수 구성 요소 (확산 로, 웨이퍼 카세트 및 하중 잠금 챔버) 로 구성됩니다. 확산 용광로 (diffusion furnace) 는 비활성 가스, 암모니아, 수소와 같은 고온 가스로 채워진 밀봉형 챔버로, 매우 높은 온도에 도달합니다. 이것 은 물질 을 기화 시키고, 기판 에 증착 시키는 데 둘 다 사용 된다. "웨이퍼 '" 카세트' 는 2 "인치 '기판 의 45 개 조각 을 담고 있으며 용광로 에 재료 를 공급 할 책임 이 있다. 로드 락 챔버 (load lock chamber) 는 오염없이 기판을 격자로 빠르게 전달하는 데 사용됩니다. TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I은 멀티 존 온도 컨트롤러, 기판 난방 장비, 쿼츠 샤워 헤드, 강력한 세라믹 적외선 대류 히터를 포함한 많은 고급 기능으로 구성됩니다. 다중 영역 온도 컨트롤러 (multi-zone temperature controller) 는 챔버 전체의 온도 정밀도 및 제어를 허용하는 반면, 가열 시스템은 기판의 온도를 조절합니다. 석영 쇼어 헤드 (showerhead) 는 기판 위에 고른 가스 분포를 제공하며, 퇴적 된 필름의 균일 성을 향상시키는 데 도움이됩니다. 세라믹 적외선 대류 히터 (ceramic infrared convection heater) 는 기질의 정확하고 일관된 가열을 보장하며, 사용자에게 필름의 두께와 구성을 완벽하게 제어합니다. 이 장치 는 또한 위험 한 상황 으로부터 "오퍼레이터 '를 보호 하도록 설계 된 안전 장치 를 갖추고 있다. 무단 액세스를 방지하는 보안 머신 (security machine) 과 확산 챔버 내부의 압력을 감시하는 압력 제어 도구 (pressure control tool) 가 내장되어 있습니다. 또한, 알파 303i (Alpha 303i) 에는 확산 로의 온도, 압력 및 기타 매개변수를 측정하는 모니터링 자산이 있으며, 이 장치의 안전하고 효율적인 작동을 촉진하는 의료 가스 및 배기 시스템을 반영합니다. ALPHA 303 I는 강력하고 안정적이며 유지 관리 가능한 확산 로와 액세서리 장치입니다. 정밀 온도 조절 (Precision Temperature Control) 및 다양한 기판에 고품질 필름을 생산하기 위한 자동화된 프로세스를 제공합니다. 다양한 고급 기능을 갖춘 "리서치 (Research) '와" 커머셜 애플리케이션 (Commercial Application)' 에 이상적인 선택이다.