판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #9384277

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i (TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i) 는 제조 공정의 효율성을 높이기 위해 설계된 관련 액세서리를 갖춘 확산 로입니다. 첨단 기술은 간접 가스 가열, 직접 전기 가열 및 영역별 온도 조절 알고리즘의 혁신적인 조합 인 PID 제어 열 영역 (Controlled Heat Zone) TM 기술을 사용하여 최적화되고 반복 가능한 확산 프로세스를 제공합니다. TEL ALPHA-303I는 4 구역 HRC (Horizontal Re-circulating) 챔버를 특징으로하여 각 구역의 온도를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 이를 통해 제품 온도, 온도 균일 성 및 차원 간 온도 차이를 정확하게 제어 할 수 있습니다. HRC는 또한 고품질 최종 제품을 보장하기 위해 확산 전반에 걸쳐 균일 한 가열을 유지하는 데 도움이됩니다. 또한 "HRC '공정 은 기판 재료 의 열 하중 을 감소 시켜, 공정 중 의 손상 을 최소화 시킨다. 가변 가스 컴포지션 소스 챔버와 결합된 PID 제어 열 영역 (PID Controlled Heat Zone) TM 기술을 통해 사용자는 각 컴포넌트에 대한 최적의 증착 매개변수를 선택할 수 있습니다. 이렇게 하면 프로세스 단계 시간을 최소화하고 수율을 최대화할 수 있습니다. 도쿄 전자 알파 -303 (TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I) 은 또한 확산 챔버에 특수 가스를 도입하여 도펀트 및 에찬트와 같은 확산 프로세스를 개선 할 수 있습니다. TEL ALPHA 303 I에는 통합 가스 라인 라우팅 및 정화 시스템이 있으며, 이를 통해 사용자는 하나의 챔버로 모든 확산 가스에 액세스 할 수 있으며, 보다 간단하고 빠른 설정 및 전환이 가능합니다. 이 시스템은 실시간, 고유 가스 순도 모니터링 및 경보를 제공하므로 원치 않는 시장 결함이 발생하지 않습니다. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I 는 직관적인 사용자 인터페이스를 제공하므로 설치, 완료, 확산 프로세스 전체를 모니터링할 수 있습니다. 이 인터페이스를 통해 사용자는 기체 농도 (gas concentrations), 온도 (temperations) 등의 정보에 액세스하여 필요에 따라 정보를 조정하여 원하는 결과를 얻을 수 있습니다. 전반적으로, TEL ALPHA-303 I (TEL ALPHA-303 I) 는 사용자가 제조 공정의 효율성을 높일 수있는 다양한 기능을 갖춘 고급 확산 로입니다. PID Controlled Heat Zone TM 기술, 챔버 디자인 및 사용자 인터페이스의 조합을 통해 ALPHA-303I는 신뢰할 수 있고 사용자에게 친숙한 확산 로입니다.