판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #9383859
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TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i는 반도체 장치 생산을 위해 특별히 설계된 고급 확산 로와 액세서리 패키지입니다. 이 최첨단 장비는 열 처리, 금속 강착, 접촉 구멍 개방 (contact hole opening) 및 기타 청소 공정에 사용됩니다. 3 구역 열 절연 챔버, 혁신적인 냉각 시스템, 프로세스 매개 변수에 대한 전례없는 제어가 특징입니다. TEL ALPHA-303I의 챔버는 최대 1250 ° C (2300 ° F) 의 온도에 도달 할 수 있습니다. 공정 (process) 과 온도 (temperature) 매개변수를 모두 제어하여 최대 정밀도와 제어를 제어합니다. 이 용광로에는 빠르고 반복 가능한 냉각이 가능한 혁신적인 냉각 장치 (cooling unit) 가 장착되어 있습니다. 따라서 처리 시간이 단축되고 일관된 결과를 얻을 수 있습니다. TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I과 함께 제공되는 액세서리 패키지에는 쿼츠 롤러, 웨이퍼 트레이, 쿼츠 소켓, 쿼츠 커버 플레이트, 쿼츠 보트, 서셉터, 벌집 등이 포함됩니다. 그들은 최적화되고 반복 가능한 균일성과 최대한의 생산성을 보장하도록 설계되었습니다. 예를 들어, 쿼츠 롤러 (quartz roller) 와 웨이퍼 트레이 (wafer tray) 는 균일 한 웨이퍼 뒷면과 접촉 구멍 개방을 보장하도록 특별히 설계되었습니다. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I은 반도체 제조, 금속 증착, 열 처리 및 접촉 구멍 개방을위한 혁신적인 도구입니다. 최첨단 기능 및 액세서리 (accessory) 패키지는 이러한 작업의 성능을 위해 매우 효율적이고 고급 머신이 됩니다. 포함된 사용자 인터페이스 (User Interface) 를 통해 용광로 (Furnace) 를 손쉽게 제어하고 작동할 수 있으므로 전례없는 수준의 반복 가능한 정확성과 생산성을 제공합니다.
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