판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #9381867
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ID: 9381867
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2010
LP-CVD Furnace, 12"
Process: DCS-HTO
Heater type: VMM-56-306
FUJIKIN Air valve
Gas: SiH4 / SiH2Cl2 / N2O
Power requirements: Three Phase, AC 440V / Single Phase AC 208V
2010 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i Diffusion Furnace & Accessories는 반도체 제조업체의 기능을 향상시키기 위해 설계된 최신 최첨단 도구입니다. 이 장치는 용광로 전체 범위에서 반복 가능하고, 예측 가능하며, 일관된 온도를 생성하는 3 구역 용광로 설계를 사용합니다. TEL ALPHA-303I의 통합 마이크로프로세서 제어, 프로그래밍 가능한 전원 공급 장치 및 분기된 추종자 암은 표준 용광로 설계에서 찾을 수없는 환상적인 정확성과 정밀도를 제공합니다. TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I Diffusion Furnace & Accessories는 뛰어난 제어 및 자동화를 제공합니다. 내장 디스플레이는 읽기 쉬운 메시지와 사용자 정의 옵션을 제공하여 온도, 주기 시간 등을 관리할 수 있습니다. 직관적인 제어판 (control panel) 을 사용하면 기술자가 특정 장치 매개변수 및 어플리케이션 요구 사항에 따라 용광로 매개변수를 사용자 정의할 수 있습니다. 디커플된 온도 제어를 통해 기술자는 서로 다른 영역의 온도 설정을 독립적으로 제어할 수 있습니다. ALPHA-303 I는 넓은 지역에 대한 효율적인 적용 범위를 제공하도록 설계되었습니다. 넓은 범위와 가스 흐름 분포의 정확한 제어는 더 큰 웨이퍼의 균일 한 용융을 가능하게합니다. 초고속 냉각 기능이 내장되어 있어 고에너지 (high-energy) 프로파일과 저에너지 (low-energy) 프로파일 사이를 빠르게 전환할 수 있으므로 냉각 주기를 기다릴 필요가 없습니다. 또한 소규모 생산 요구 사항과 대규모 무중단 운영 (Continuous Production Run) 을 수용할 수 있습니다. TEL ALPHA 303 I 확산 용광로 및 액세서리도 뛰어난 안전 시스템을 갖추고 있습니다. 자동으로 조절 된 온도 및 가스 흐름 수준은 잠재적 인 위험 상태로부터 운영자를 보호합니다. 실제 안전 도어에는 센서가 장착되어 있어 기술자에게 열린 상태를 경고합니다. 한편, 프로그래밍 가능한 안전 프로토콜은 무단 액세스 및 작동을 방지합니다. 모두 TELTEL ALPHA-303 I Diffusion Furnace & Accessories는 안정적이고 안전한 장치로, 일관된 성능과 뛰어난 제어 수준을 제공합니다. TEL 알파 303i (TEL Alpha 303i) 는 온도 데이터를 실시간으로 보고 안정적인 녹는 보호 기능을 제공하여 생산, 엔지니어링, 연구 및 개발 시설에 적합한 옵션을 제공합니다.
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