판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #9376848

TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i
ID: 9376848
Vertical anneal furnace Process: TEOS Does not include HDD.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i는 안정적이고, 효율적이며, 안전한 확산 어닐링 및 격리 프로세스를 제공하기 위해 설계된 확산 로와 액세서리 세트입니다. 풀 바이 리프트 방법이있는 표준 확산 챔버가 특징입니다. 용광로 는 "어닐링 '과정 을 조절 하기 위해 원자기 층, 진공" 펌프', 안전 장치 및 냉각 주기 "시스템 '으로 만들어졌다. 이 시스템은 온도에 강하며 산화에 저항하는 고급 재료를 포함합니다. 최대 온도 범위는 1150 ° C입니다. TEL ALPHA-303I에는 수냉식 웨이퍼 스테이지가 장착되어 있어 웨이퍼의 자동 로드 및 언로드가 용이합니다. 웨이퍼 스테이지와 함께 TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I에는 더 빠른 어닐링 프로세스를 위해 강력한 쿼츠 난방관이 제공됩니다. 또한 더 큰 온도 정확도와 균일 성 제어를 제공하는 석영 유관 (quartz flow tube) 이 있습니다. 석영 튜브 노즐 디자인은 챔버를 깨끗하게 유지하는 반면, 수분 센서는 습도를 조절합니다. 안전 및 규제를 위해 TOKYO ELECTRON ALPHA 303i (TOKYO ELECTRON Alpha 303i) 에는 비상 및 압력 서열 밸브의 경우 빠른 동작을위한 비상 정지 스위치가 있으며, 이 스위치는 챔버 내부의 압력을 조절합니다. 또한, 이 장치에는 가열주기 동안 공기 누출을 방지하는 방출 잠금 메커니즘이 포함됩니다. 알파-303I (ALPHA-303I) 의 견고한 설계는 챔버 내에서 온도 변화를 방지하고 격리된 프로세스가 유지되도록 합니다. 또한 전원 전환 기능 (power switching function) 을 통해 난방주기의 강도를 애플리케이션에 맞게 빠르게 조정할 수 있습니다. 편의상 TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I은 사용자 정의가 가능합니다. 수동 제어 기능 (manual control) 과 컴퓨터화된 운영 체제를 통해 사용자가 용광로 (furnace) 를 쉽게 프로그래밍하고, 매개변수를 변경하며, 프로그램 세부 정보를 수정할 수 있습니다. 게다가, 난방 요소, "센서 '및" 타이머' 와 같은 여러 가지 "액세서리 '를 함께 사용 하여 애닐링 프로세스 를 사용자 정의 할 수 있다. TEL ALPHA 303 I (TEL ALPHA 303 I) 는 많은 기능과 액세서리를 갖춘 고급적이고 신뢰할 수있는 확산 로로, 모든 실험실에 적합한 선택입니다. 내구성과 다재다능성 덕분에, TOKYO ELECTRON ALPHA-303I는 확산 어닐링 및 격리 프로세스에 사용할 수있는 최고의 옵션 중 하나입니다.
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