판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #9353373

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i는 다양한 제조 및 실험실 응용 분야에 사용하도록 설계된 고성능 확산 로와 액세서리입니다. 이 장비는 반도체 생산, 특히 CMOS, BiCMOS 및 BiMOS 장치를 위해 작고 복잡한 구조를 만드는 고급 장비입니다. TEL ALPHA-303I의 길이는 2.1m (82 인치), 높이는 1.1m (43.3 인치) 로 크지만 비교적 공간 효율적인 장치입니다. 무게는 5 톤이며 32 위치 워터 스트립 척, 후방 망원경 챔버, 이중 사이클론 사이클론 재순환 시스템 및 정제 원심 분리기 장치를 포함합니다. 확산 로에는 전면과 후면에 여러 개의 캐리어 (carrier) 가 장착되어 있으며, 한 번에 최대 5 개의 웨이퍼와 대기 배기 장치 (exhaust unit) 를 수용하여 조종 된 대기를 만듭니다. TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I 는 프로그래밍 가능, 고속 히터 및 독립 주전자 작동으로 탁월한 처리 효율성과 처리량을 제공하도록 설계되었습니다. 여기에는 정확한 온도 조절을위한 다중 스펙트럼 컨트롤러, 실시간 모니터, 안전한 작동을위한 진공 연동 기계, 안전하지 않은 조건에 자동으로 응답하는 긴급 차단 스위치 (Emergency Shut-off Switch) 가 포함됩니다. 또한 이 모델의 고급 설계를 통해 할로겐 농도를 평가하고 작업 중 프로세스 매개변수를 조정할 수 있습니다 (영문). ALPHA 303 I의 탁월한 성능과 디자인은 반도체 처리에 이상적입니다. 이 최첨단 확산 광로 (state-of-the-art diffusion furnace) 및 액세서리 (accessory) 는 정밀한 온도 조절과 높은 처리량을 제공하여 광범위한 장치에서 복잡한 구조의 안정적인 제조를 보장합니다. 이 고급 도구는 직관적인 컨트롤러, 비상 정지 스위치 (Emergency Stop Switch) 및 자체 진단 자산 (Self Diagnosis Asset) 을 갖추고 있어 신뢰할 수 있고, 효율적이며, 정확한 반도체 생산 및 연구를 위한 대중적인 선택입니다.