판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #9353372

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i (TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i) 는 다양한 기능을 갖춘 확산 로와 액세서리 장비로, 반도체 업계에 이상적인 제품입니다. TEL ALPHA-303I는 반도체 제작 과정에서 증기 증착 및 알루미늄 상호 연결의 어닐링을 위해 설계된 '모듈 (module)', 고급 제어 시스템 및 다양한 지원 시스템으로 알려진 3 개의 작은 용광로를 포함합니다. 직관적 인 HMI (Human Machine Interface) 를 사용하여 운영자는 네트워크 내 모든 터미널에서 TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I를 빠르고 쉽게 설정하고 제어 할 수 있습니다. 모듈식 설계는 매우 유연하며, 추가 장비를 구매하지 않고도 사용자 정의를 허용합니다. 사용자는 전용 모듈 (dedicated module) 중에서 선택할 수 있으며, 각 모듈은 다양한 크기와 복잡성 수준에 대한 집적 회로 (integrated circuit) 구조를 만드는 데 필요한 정확한 사양을 제공합니다. 확산 (diffusion), 전광로 (pre-furnace), 후광로 (post-furnace) 의 세 가지 모듈은 완전히 교환이 가능하며 시간 및 기술 향상에 따라 업그레이드할 수 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I은 3 개의 모듈을 단일 장치로 제어함으로써 기존 시스템에 비해 몇 가지 장점을 제공합니다. 각 모듈의 자동화 및 최적화, 흐름 가스 조정, 모든 구성 요소의 모니터링 성능 (monitored performance) 을 통해 이 시스템을 안정적이고 효율적으로 사용할 수 있습니다. 또한 TEL ALPHA-303 I 의 동일한 툴에서 3 개의 서로 다른 모듈을 제어하는 기능은 프로세스 유연성과 비용 절감 효과를 제공합니다. 여러 개의 센서가 장착된 TOKYO ELECTRON ALPHA-303I 는 모든 프로세스 매개변수를 정확하게 모니터링하고 기록할 수 있으며, 이를 통해 사용자는 실시간으로 쉽게 성능을 분석하고 최적의 프로세스 조건을 유지할 수 있습니다. 이 디자인은 또한 CTU (Chamber Temperature Uniformity) Control Asset을 특징으로하며, 확산 챔버 표면에서 온도의 변형을 자동으로 보완하여 열적 균일성을 크게 향상시켜 더 반복 가능한 결과를 제공합니다. 또한 ALPHA-303I 의 고급 설계를 통해 다양한 시스템 및 구성 요소 (예: 질량 흐름 컨트롤러, 가스 라인, 진공 시스템) 와 통합할 수 있습니다. 이를 통해 사용자는 반복성 (repeatability) 이나 수익률 (revield) 을 저해하지 않고 확산 프로세스에서 최대 성능을 얻기 위해 모델을 사용자정의할 수 있습니다. 알파 303i (Alpha 303i) 는 내구성과 안정성이 뛰어난 확산 로와 액세서리 장비로, 성능, 효율성, 유연성, 비용 절감 기능을 결합하여 대용량 반도체 제작을 위한 비용 효율적인 솔루션입니다.