판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #9311029
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TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i는 반도체 및 태양 광 장치 및 부품 제조에 사용되는 확산 용광로 및 액세서리입니다. 303i의 고급 설계에는 고정밀 온도와 초고속, 고성능 가스 흐름 컨트롤러가 장착되어 있습니다. 사용자 친화적인 운영 시스템을 통해 정확한 온도 및 가스 흐름 자동화 (Automation) 를 통해 고성능, 고품질 장치를 빠르고 정확하게 생산할 수 있습니다. TEL ALPHA-303I에는 효율적이고 빠른 열 처리를 위해 폐쇄 사이클 운영 체제가 있습니다. 여기에는 고정밀도 온도 조절 기술 (High-Precision tempering controlling technology) 이 포함되며, 이 기술을 통해 프로세서는 단기간에도 온도를 정확하게 조절하고 안정된 프로세스 매개변수를 얻을 수 있습니다. 초고효율 (초고효율) 가스 흐름 컨트롤러를 사용하면 온도에 영향을 주지 않고 고성능 가스를 신속하게 도입할 수 있습니다. 303i의 분해기 및 디에레이터는 가스 혼합물을 용해하고 탈수 (deaeration) 하여 반응 균일성과 효율성을 향상시킬 수 있습니다. 303i에는 프로세스를 사용자 정의하고 제어할 수 있는 다양한 옵션이 있습니다. 다중 영역 프로그램 모드를 제공하여 프로파일, 온도, 시간, 가스 흐름, 가스 구성 등 최대 10 개의 열 처리 기능을 프로그래밍 할 수 있습니다. 또한 303i에는 가열 과정에서 장치의 곡물 형태 및 에미 터/드레인 프로파일을 조정하는 데 사용할 수있는 고급 EMF (External Magnetic Field) 기술이 있습니다. 303i (303i) 는 기능 기능 외에도, 운영자가 가능한 모든 문제로부터 보호할 수 있는 안전 기능을 제공합니다. 용광로에는 전원이 종료되거나 비상 (Emergency) 단추가 활성화되면 자동으로 중지되는 연동 챔버 (Interlock Chamber) 가 있습니다. 303i 에는 또한 압력 안전 밸브 (pressure safety valve) 가 있는데, 이 밸브는 압력이 안전 한계를 초과하면 열립니다. TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I 는 빠르고 정확하게 고성능 장치와 부품을 생산하도록 설계된 강력하고 안정적인 확산 로와 액세서리입니다. 폐쇄 사이클 운영 체제와 EMF 기술, 멀티 존 (multi-zone) 프로그램 모드와 같은 고급 기능을 통해 303i를 사용하면 고품질 장치와 구성 요소를 사용자 정의, 제어, 안전하게 생성할 수 있습니다.
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