판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #9311027

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i 확산 로는 초정밀 확산 처리를 위한 고급 도구로서, 반도체 및 기타 업계의 고유한 요구를 충족하도록 설계되었습니다. TEL ALPHA-303I (Automatic High Efficiency Gas Distribution Equipment), 고유 온도 조절 시스템, 다양한 프로세스 제어 기능과 같은 다양한 유용한 기능을 통해 다양한 확산 처리 작업을 효과적으로 지원합니다. 도쿄 전자 ALPHA-303 I (TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I) 는 TEL 확산 용광로 라인에 최신 추가되어 확산 처리를위한 포괄적 인 솔루션을 제공합니다. 정밀한 온도 조절은 석영 도가니 및 독특한 Vortex Platinum Series Control 단위로 달성되어 일관된 어닐링을 위해 정확한 온도 조절을 보장합니다. 프로세스 제어 (process control) 기능에는 대기, 시간 제어 등 다양한 매개변수를 사용할 수 있는 유연한 설정이 있습니다. 또한, Alpha 303i에는 프로세스 조건에 대한 3D 미리보기를 제공하는 다중 축 다중 영역 시뮬레이션이 있습니다. TEL Alpha 303i 확산 로에는 최신 가스 유통 시스템이 장착되어 있으며, 다른 용광로에 비해 더 높은 가스 흐름을 제공하도록 설계되었습니다. 고급 컨트롤러 기술로, 처리 조건에서 높은 안정성과 일관성을 보장합니다. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I에는 작업 공간 배출량을 줄이는 독특한 배기 기능도 있습니다. 게다가, 확산 용광로 는 생산 "라인 '에" 에너지' 와 비용 효율성 을 제공 하도록 설계 되었다. 안전을 보장하기 위해 TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-303I 확산 로에는 도어, 덮개 잠금 장치, 과도한 두께를위한 경보 시스템 등 다양한 안전 기능이 있습니다. 또한 온도 및 프로세스 조건을 실시간으로 감지하는 임펄스 감지 함수 (Impulse Detection Function) 가 있습니다. 과열 방지하기 위해 ALPHA 303 I에는 티타늄 쿼츠 (titanium quartz) Hi-Tec 래치 머신이 장착되어 있어 용광로가 설계 사양 이상의 온도에 도달하지 못합니다. ALPHA-303I 확산 로는 대규모 정밀 확산 처리가 필요한 기업에 이상적인 도구입니다. 최첨단 디자인과 기능을 갖춘 TEL ALPHA-303 I 는 다양한 프로세스 요구 사항을 충족하는 솔루션을 제공합니다. 신뢰성 있는 품질과 유연성으로 인해 모든 규모의 비즈니스에 적합한 선택이 됩니다 (영문).