판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #9269364

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i (TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i) 는 마이크로 전자 산업의 요구를 충족하도록 설계 및 제조 된 확산 로이자 액세서리입니다. 최대 온도 조절, 다운타임 최소화, 수율 향상을 제공하는 단일 웨이퍼 퍼로 (wafer furnace) 입니다. TEL ALPHA-303I (TEL ALPHA-303I) 는 스테인리스 스틸로 순전히 구성된 단일 웨이퍼 공정 챔버를 자랑하며, 우수한 성능과 오래 지속되는 안정성을 제공합니다. 이 장치는 3 방향, 270도 회전을 갖춘 통합 설계를 갖추고 있으며, 웨이퍼의 상부 및 하부 표면에 균일 한 가열을 가능하게합니다. 난방 장비는 고급 저항 요소와 세라믹 히터의 조합으로 구성된 고급 간접 난방 요소 (Indirect Heating Elements) 를 사용하여 최대 1300 ° C의 큰 온도 범위를 가능하게합니다. TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I는 Radial-Flow Type Preparation Chamber 및 Alloy Gas Exhaust Cells로 구성된 혁신적인 16 구역 대기 제어 시스템을 사용합니다. 각 16 개 구역 (zone) 의 온도는 독립적으로 지속적으로 모니터링되므로 열 생산성 (thermal productivity) 감소와 함께 온도 조절이 더 가깝습니다. 독점적 인 RAD 설정 내부 벽 구조는 냉각수 라디에이터의 필요성을 제거하므로 비용을 크게 줄입니다. TOKYO ELECTRON ALPHA-303I의 하이엔드 옵션은 더욱 뛰어난 효율성과 생산성을 제공합니다. 고급 전원 공급 장치 (Advanced Power Supply Converter) 를 통해 다양한 출력 전류를 제공하여 원하는 온도를 얻을 수 있습니다. 또한, 고정밀 Mass Flow Controller 및 Triple-valve 제어 장치는 광범위한 가스 옵션을 사용하면서 안정적인 내부 대기를 유지합니다. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I은 몇 가지 추가 기능을 제공하도록 설계되었습니다. 내장 잠금 버튼, 긴급 경고 회로, 자동 정지 머신 (Auto-Stop Machine) 은 사고를 예방하고 안전한 운영 환경을 확보하도록 설계되었습니다. 고급 안전 경보 도구도 필요할 때 경고를 발행합니다. ALPHA 303 I은 모든 마이크로 일렉트로닉스 실험실을위한 완벽한 선택입니다. 뛰어난 제어 능력, 안정성을 갖춘 안정된 난방 온도를 하나의 고효율 패키지로 제공합니다.