판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #9263874

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i는 고급 확산 로와 액세서리이며, 특히 프로토 타입 또는 소형 배치 반도체 장치를 만들도록 설계되었습니다. 이 제품은 효율적이고 정확한 제작 환경을 필요로 하는 제조업체에 이상적인 솔루션이 됩니다 (영문). 스크라이브 스테이션 (scribe station), 여러 챔버 (multiple chamber) 및 다중 축 로봇 (multi-axis robot) 을 갖춘 자동 운송 장비를 포함하여 다양한 정교한 도구가 제공됩니다. TEL ALPHA-303I 의 프로세스 온도 범위는 최대 1000 ° C 이며 고급 웨이퍼 처리 및 사전 정렬을 제공하도록 설계되었습니다. 또한 생산 중 추가 제어를 위해 저온 산화물 챔버를 제공합니다. 독보적인 프로세스 제어 기술은 안정적이고 반복 가능한 운영 환경을 제공합니다. 또한, 정확한 온도 조절을위한 빠른 응답 히터 제어 시스템이 포함되어 있습니다. TOKYO ELECTRON ALPHA-303 (TOKYO ELECTRON ALPHA-303) 에는 다양한 재료에 대해 다양한 프로세스를 설정할 수있는 강력한 소프트웨어 제품군이 있습니다. 또한 프로세스 상태 (Status) 에 대한 실시간 업데이트를 제공하는 포괄적인 모니터링 장치 (Monitoring Unit) 와 쉽게 작업을 수행할 수 있는 직관적인 사용자 인터페이스 (User Interface) 도 포함되어 있습니다. 이 고급 제어 시스템을 사용하면 프로세스 제어를 극대화할 수 있습니다. 또한 F.A.S.T. (Fully Automated Data Logging) 기능을 통해 제조 프로세스를 보다 효율적으로 추적할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON ALPHA-303I (TOKYO ELECTRON ALPHA-303I) 는 유지된 환경이 안전하고 안전하도록 고급 안전 기능으로 설계되었습니다. 또한 전체 생산 프로세스를 실시간으로 모니터링할 수 있는 HD 안전 카메라 (HD Safety Camera) 도구도 포함되어 있습니다. 마지막으로 Alpha 303i에는 ATCS (Automatic Temperature Control Systems) 및 Manual Controller와 같은 다른 시스템과 쉽게 통합 할 수있는 모듈식 디자인이 있습니다. 또한 다양한 통합 유지 관리 옵션 (예: 웨이퍼 정렬 에셋) 이 제공되며, 용광로 (furnace) 를 조정하고 시간이 지남에 따라 성능이 일관되게 유지됩니다. 전반적으로 TOKYO ELECTRON Alpha 303i는 매우 진보적이고 효율적인 확산 로와 액세서리입니다. 신뢰할 수 있고, 반복 가능하며, 직관적인 프로세스로 인해 소규모 및 프로토 타입 제조에 적합합니다. 또한 강력한 안전 (Safety) 기능과 안전하고 안전한 생산 환경을 보장하는 고급 자동화 기능으로 설계되었습니다.