판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #9251688

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i는 반도체 제작 프로세스에 사용하도록 설계된 고성능 확산 로와 액세서리입니다. 기판 도핑, 얕은 트렌치 격리 (STI), 웨이퍼 디본 딩 등 다양한 작업을 수행 할 수 있습니다. 용광로에는 챔버 전체의 정확한 온도와 균일성을 보장하는 최첨단 수직 (state-of-the-art) 원자로가 장착되어 있습니다. 공정 챔버 전체에서 최대 온도는 1,800? C, 균일 함은 ± 2? C입니다. 또한 빠르고 효율적인 냉각을 위해 고속 수냉식 장비를 갖추고 있습니다. TEL ALPHA-303I는 효율성을 극대화하기 위해 다양한 기능을 갖춘 고급 용광로입니다. 최대 64 개의 레시피가 장착된 고도로 구성 가능한 메모리를 통해, 빠르고 쉽게 저장, 리콜할 수 있습니다. 따라서 운영 효율과 신속한 처리 시간이 가능합니다. 또한, 챔버의 프로세스 매개변수 (process parameters) 를 추적하고 최적의 조건에서 프로세스가 진행되고 있는지 확인하는 실시간 모니터링 및 제어 시스템 (real-time monitoring and control system) 이 장착되어 있습니다. TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I은 프로세스 기능 외에도 뛰어난 안전 기능을 제공합니다. 작동 중 최대 열 보호 (thermal protection) 를 위해 여러 계층의 인슐레이션이있는 고급 인슐레이션 장치 (advanced insulation unit) 로 구성됩니다. 이 용광로에는 안전을위한 여러 가지 인터 록 (interlock) 과 비상시 가스와 전력을 차단하는 긴급 차단 밸브 (emergency shoff valv) 가 장착되어 있습니다. TEL Alpha 303i에는 AFM 장치, 챔버 간 웨이퍼 이동을위한 캐리어 엘리베이터 (Carrier Elevator) 및 웨이퍼 정렬 장치 (Wafer Alignment Machine) 를 포함한 전체 액세서리 스위트가 제공됩니다. 이렇게 하면 공구를 설정할 때 최대 (maximum) 의 유연성이 보장되며, 웨이퍼가 빠르고 정확하게 로드되고 언로드됩니다. 결국, Alpha 303i는 최첨단 확산 로와 액세서리로, 고성능 및 안전성을 위한 탁월한 기능을 제공합니다. 고급 온도 조절 (Temperature Control) 및 모니터링 기능, 빠른 처리 기능, 다양한 액세서리 (Accessory) 를 갖추고 기능을 향상시킵니다. 이 제품은 안정적이고 효율적인 확산 로가 필요한 모든 사람에게 이상적인 선택입니다.