판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #9251686

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i는 최고 수준의 순도, 균일성 및 반복성으로 고급 필름을 제공하도록 설계된 최첨단 확산 로와 액세서리입니다. 첨단 기술 (Advanced Technology) 을 통해 광범위한 재료를 신속하게 처리할 수 있습니다. TEL ALPHA-303I는 3 구역 난방 장비를 갖춘 다단계 퍼니스로, 뛰어난 품질과 반복성을 갖춘 DRIE (Deep Reactive Ion Etching) 및 열 산화 프로세스를 제공 할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I은 고유 한 플라즈마 생성 챔버를 사용하는데, 이 챔버에는 산소, 질소 또는 실리콘 수소 가스가 공급되어 균일성 및 순도 개선을위한 다양한 프로세스 조건을 수정합니다. 온도 프로그래밍 및 온도 매핑 기능을 갖춘 활성 온도 및 압력 염색 균일 성 제어 시스템 (Pressure Staining Uniformity Control System) 이 특징입니다. 또한 ALPHA-303I (ALPHA-303I) 는 시간 변화 흐름에서 정밀한 시간 단축 가스 펄스에 이르기까지 다양한 가스 전달 기술을 제공합니다. 이 기능을 사용하면 정확한 필름 증착 및 프로세스 제어를 할 수 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-303I는 통합 멀티 포인트 모니터링 시스템을 제공하여 사용자는 챔버의 압력, 온도, 가스 흐름 및 산소 농도와 같은 수많은 프로세스 매개 변수에 대한 데이터를 수집 할 수 있습니다. 이 데이터는 균일 맵을 만들거나 TOOL을 최적화하는 데 사용됩니다. 도쿄 전자 알파 303 I (TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I) 는 멀티 탱크 가스 전달 장치입니다. 사용자는 저압 또는 고압 구성을 선택하여 다양한 프로세스를위한 전도성 분위기를 설정할 수도 있습니다. 전자포획기는 또한 쿼츠 클래드 RF 인덕터 (quartz-clad RF inductor) 및 주파수 제어를위한 RF 전원 공급 장치와 함께 포함됩니다. 이를 통해 사용자는 정전기 코팅, 스퍼터링 및 PVD 처리를 수행 할 수 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I에는 리프트 오프 프로세스와 도어 자동 개방 및 지붕 내부 동작이있는 고급 베이킹 모드가 포함되어 있습니다. 리프트 오프 공정은 웨이퍼 바이어스 에칭, 플라즈마 강화 화학 증기 증착 (PECVD) 및 기타 표면 처리에 사용되어 필름 품질을 향상시킬 수 있습니다. 오븐 커버는 최대 20kg까지 적재 할 수 있으며, 이를 통해 사용자는 균일성을 달성하고 왜곡 문제를 예방할 수 있습니다. 또한, TEL ALPHA 303 I에는 드라이 클리닝을위한 화학 종점 감지 도구가 포함되어 있으며 400mm 균일 매핑 자산이 장착되어 있습니다. 이를 통해 사용자는 안정적인 프로세스 제어를 보장하고 정확한 배치 프로세스 데이터를 얻을 수 있습니다. 또한, 알파 303i (Alpha 303i) 는 가장 정밀하고 균일하며 반복 성을 제공하는 특별한 저저저항 세라믹 마감으로 코팅됩니다. TEL ALPHA-303 I (TEL ALPHA-303 I) 는 뛰어난 성능, 품질, 반복성을 보장하는 다양한 기능을 사용자에게 제공하는 고급 장비입니다. 즉, 사용자는 최고의 품질로 다양한 프로세스를 수행할 수 있으며, 성공적인 프로세스 제어를 위한 데이터 (data) 도 제공할 수 있습니다.