판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #9251684

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i는 용광로 및 관련 액세서리로 구성된 혁신적인 확산 장비입니다. 이 용광로는 단일 구역 공정 챔버를 사용하여 결정 반도체 및 기타 재료를 재배합니다. 이 용광로는 가열률 (rapid heatup and cool-down rate) 과 고급 반도체 처리를 위한 정확한 온도 및 대기 제어를 용이하게하도록 설계되었습니다. TEL ALPHA-303I의 단일 구역 용광로 챔버 (Single-Zone Furnace Chamber) 는 빠른 방열과 냉각에 이상적인 탑모자 디자인을 갖추고 있습니다. 가공 중 에 표적 물질 의 산화 를 방지 하기 위하여 약실 을 밀폐 하여 비활성 대기 (inert atmosphere) 를 형성 한다. 챔버는 한 쌍의 할로겐 램프 (halogen lamps) 에 의해 가열되며, 이는 고온 세라믹 반사기를 사용하여 다양한 온도에서 좋은 균일성을 보장합니다. TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I의 온도 조절은 대기 제어 및 열 단열의 두 가지 메커니즘을 통해 최적화됩니다. "로우니스 챔버 '의 정확 한 대기 를 유지 하기 위하여 대기" 가스 믹서' 가 사용 된다. 또한, 용광로는 열 손실을 최소화하고 핫스팟을 제거하기 위해 절연 층의 알루미나 파이버 (alumina fiber) 로 설계되었습니다. 이로 인해 온도의 변동이 줄어들고, 보다 안정적이고, 신뢰할 수있는 확산 과정이 발생합니다. 도쿄 전자 알파 -303I (TOKYO ELECTRON ALPHA-303I) 에는 다양한 확산 솔루션을 제공하기 위해 제작 된 다양한 액세서리가 제공됩니다. 여기에는 확산 과정에서 균일성을 최대화하도록 설계된 여러 개의 쿼츠 컨테이너, 샘플 바구니, 도가니 등이 포함됩니다. 또한, 고속 냉각, 정밀 온도 조절, 대기 제어, 조절 가능한 가스 흐름 등 특정 확산 요구 사항을 제공하기 위해 몇 가지 구성 요소가 포함됩니다. 전체적으로 TOKYO ELECTRON ALPHA 303i 확산 장비 패키지는 다용도, 신뢰성, 신뢰할 수있는 기술로, 성장하는 고급 반도체에 적합합니다. "뉴우요오크 '는" 뉴우요오크' 의 "뉴우요오크 '의" 뉴우요오크 "지 에 다음 과 같이 말 하였다.