판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #9251683

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i는 전자 장치 제작을위한 뛰어난 성능, 특히 고급 실리콘 웨이퍼를위한 우수한 성능을 제공하는 단일 웨이퍼 확산 용광로 장비입니다. 확산, 에칭 및 증착 프로세스에 최신 기술을 사용합니다. TEL ALPHA-303I에는 자동 액체 전달 시스템, 수동 액체 채우기, 전면/후면 로드 잠금 장치, 활성 전면/후면 열기 등 다양한 액세서리가 내장되어 있습니다. 또한, 정확한 프로세서 전달 및 온도 정확성을 보장하는 고급 슬릿 밸브 (slit valve) 설계가 있습니다. TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I는 개방적이고 사용하기 쉬운 조정 가능한 흐름 설계를 갖추고 있습니다. 이를 통해 전방/후방 흐름을 독립적으로 동시에 제어할 수 있습니다. 또한 작동 플랫폼과 부식 내성 챔버가 있으며, 최대 220 ° C의 온도에 견딜 수 있습니다. ALPHA-303 I의 챔버 (chamber) 는 고급 부식 내성 물질로 구성되어 있어 안정성이 높고 내구성이 뛰어납니다. 또한, 수직 유형의 직접 가열 요소를 사용하여 용광로 온도의 최적의 균일성을 제공합니다. TEL ALPHA-303 I은 다중 영역 온도를 갖는 고수율, 3 구역 난방 드레이프 장치 덕분에 750 ~ 1100 ° C 범위에서 ± 2 ~ 3 ° C의 온도 균일성이 향상되었습니다. 또한 N ', CO', S 'O', CF ', O' # #, H ', NH' 및 SF '를 포함한 다양한 가스를 사용하여 진정한 다목적 확산 로입니다. 또한, TOKYO ELECTRON ALPHA-303I에는 키 잠금 가능 시작/중지 메커니즘, 자동 접촉 검사 기계, 광학 검사 도구 등 사용자의 안전을 보장하기 위해 설계된 몇 가지 안전 기능이 있습니다. 광학 검사 자산은 챔버가 오염되지 않도록 보장합니다. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I은 탁월한 성능을 제공하는 매우 효율적인 확산 용광로 모델입니다. 높은 처리량과 정확성을 제공하도록 설계되어 품질 (Quality) 이 향상되고 프로세스 주기가 빨라집니다. 독보적인 설계, 고급 액세서리, 안정성이 뛰어난 안전 (Safety) 기능을 갖춘 이 제품은 모든 전자 기기 제조업체에 적합합니다.