판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #9251681

TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i
ID: 9251681
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2005
LPCVD Systems, 12" 2005 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i (TEL) 확산 로는 다양한 금속, 합금 및 금속 간 화합물의 빠르고 효율적인 확산을 위해 설계된 고성능 장치입니다. 공정 매개변수 (process parameter) 를 빠르고 정확하게 반복할 수 있도록 설계된 자동화된 제어 장비 (automated control equipment) 를 통해 높은 처리량 확산 프로세스에 적합합니다. TEL ALPHA-303I는 3 구역을 지원하는 입자 방열 열 전달 시스템 (각각 별도의 온도 제어 기능 및 매우 정밀한 온도 제어를 지원하기 위해 독립적으로 조절 가능한 가스 흐름 세트) 을 갖추고 있습니다. 챔버 (chamber) 는 빠른 열 재생을 위해 설계되었으며 0.05 미크론 정도의 오염 물질을 포획하도록 설계된 ult-high-dose 입자 수집 장치를 포함합니다. TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I (TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I) 에는 난방 효율을 극대화하기 위해 내부 히터의 방사선을 직접 공급하도록 설계된 고온 세라믹 리플렉터와 방사선 손실을 줄이기 위해 설계된 대형 챔버 벽이 장착되어 있습니다. 관성이 낮은 디자인은 빠른 난방 시간과 빠른 시작 시간을 보장합니다. TEL Alpha 303i에는 프로세스 매개변수, 모니터 매개변수, 시간/온도 설정 프로파일, 가스 흐름 속도 조정, 안전 매개변수 설정이 용이한 사용자 친화적, 메뉴 기반 운영자 인터페이스가 장착되어 있습니다. 또한 Touchscreen Display를 사용하면 웹 서버를 통한 자세한 편집 및 원격 모니터링을 수행할 수 있습니다. 이러한 고급 기능 외에도 TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I에는 열 차단 회로, 압력 안전 스위치, 밀봉 된 가스 연결, 극심한 온도 경보 등 다양한 안전 기능이 장착되어 있습니다. 이러한 기능을 통해 높은 수준의 안전성과 정확성을 필요로 하는 고밀도 (high-containment) 구성 프로세스에 이상적인 선택이 가능합니다. 전반적으로, ALPHA-303 I 확산 로는 다양한 금속, 합금 및 금속 간 화합물을 처리하기위한 신뢰할 수 있고, 효율적이며, 안전한 장치입니다. 자동화된 제어기 (Automated Control Machine) 는 프로세스 매개변수의 정확한 반복성을 허용하며, 고급 안전 (Advanced Safety) 기능을 통해 고밀도 구성 프로세스에 적합한 선택이 가능합니다.
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