판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #9229590

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i는 산업용으로 TEL (TOKYO ELECTRON) 이 설계하고 제조 한 고급 확산 로입니다. 이 확산 용광로는 반도체 제작, 태양 광 세포 제조, 에칭 공정 등 다양한 산업에서 널리 사용됩니다. Type 30 Wafertron Furnace, Alpha 30 Wafer Carrier 및 Alpha 8 듀얼 챔버 Flattening Tool을 포함하는 통합 장비입니다. Type 30 Wafertron Furnace를 사용하면 내장 블로우 백 기능과 함께 최대 1150 ° C의 온도 조절이 가능하므로 스트레스 확산 공정이 적습니다. 이 퍼니스에는 2 구역 "Z축" 시스템도 있으며, 이는 온도가 단단히 유지되도록 핫 존 (hot zone) 과 콜드 존 (cold zone) 사이의 균일 한 온도 필드를 유지합니다. 알파 30 웨이퍼 캐리어 (Alpha 30 Wafer Carrier) 는 다양한 크기의 웨이퍼를 처리하도록 설계되었으며 용광로를 통해 직경이 최대 6 "(150mm) 까지 웨이퍼를 이동할 수 있습니다. 공기 쿠션 (air cusion) 과 지지대를 갖추고 부드럽고 안전한 운송을 보장합니다. 알파 8 (Alpha 8) 이중 챔버 플랫 닝 도구 (Flattening Tool) 는 확산 퍼니스 액세서리에 최신 기술을 사용하여 빠르게 제어되는 공압 플랫 프로세스를 제공합니다. 이 장치 는 "와퍼 '두께 를 보다 정확 하게 제어 하기 위해 약실 을 압박 한 다음 압력 을 풀어" 웨이퍼' 를 자동 으로 병합 시킨다. TEL ALPHA-303I (TEL ALPHA-303I) 는 혁신적인 디자인과 고급 기능을 통해 안정적이고 효율적인 성능을 제공하여, 산업용 제품을 선호합니다. 정밀 온도 조절 (precision temperate control) 과 현대화된 챔버 설계 (modernized chamber design) 를 결합하여 사용자는 다양한 응용 프로그램에 필요한 정확한 매개변수를 달성 할 수 있습니다. 이 기계는 또한 숙련된 엔지니어가 지원하여 필요할 때 기술 지원을 제공합니다.