판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #9224009

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i (TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i) 는 반도체 장치 제작을 위해 저량 ~ 중량 확산 프로세스를 용이하게하기 위해 설계된 확산 로와 액세서리 장비입니다. 이 통합 시스템은 8 인치 웨이퍼 전송 램프, 8 인치 히터 및 인접한 처리 장치 링크로 구성됩니다. 8 인치 웨이퍼 전송 램프 (wafer transfer lamp) 는 기계의 필수 부분이며 웨이퍼 전송 단계를위한 균일 한 조명 소스를 제공합니다. 높은 활용도, 유연한 전원 설정, 고급 옵티컬 설계가 특징입니다. 8 인치 히터는 대류 가열 방법을 사용하여 확산 과정에서 전체 8 인치 웨이퍼에서 균일 한 온도를 유지합니다. 또한 훌륭한 온도 조절과 넓은 온도 범위를 제공합니다. TEL ALPHA-303I 는 다양한 처리 시스템과 호환되도록 설계되어, 인접한 구성 요소 간에 간단한 웨이퍼 전송이 가능합니다. 이 툴은 또한 수동 (manual) 및 완전 자동화 (fully automated) 작업을 모두 지원하므로 사용자가 특정 프로세스에 맞게 조정할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I (TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I) 에는 우발적 장비 손상을 방지하기 위해 용광로를 다른 시스템에서 분리하는 통합 안전 자산이 포함되어 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I 는 안정성을 염두에 두고 설계되었으며, 향상된 진단 기능 및 데이터 로깅 기능을 갖춘 독보적인 제어 모듈을 갖추고 있습니다. 이를 통해 모델은 많은 양의 데이터를 수집, 기록, 분석할 수 있으며, 운영자가 신속하게 추세를 파악하고, 시정 작업을 수행할 수 있습니다. 또한 TEL ALPHA-303 I에는 내부 온도를 모니터링하는 열 이미징 카메라 (옵션) 가 있습니다. 알파-303 I (ALPHA-303 I) 는 확산 처리를 수행하는 동안 최고 수준의 정확성과 신뢰성을 제공하도록 설계되었습니다. 고급 장비 통합, 고효율, 안전 기능의 조합을 통해 TOKYO ELECTRON ALPHA-303I는 저용량-중량 확산 처리에 이상적인 시스템입니다.