판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #9186622
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ID: 9186622
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2006
Vertical diffusion furnace, 12"
Process: TOZS Anneal (Tones SilaZene)
Main top cover
WVG
I/O Unit
I/O Top cover
Loadport
Back door
Exhaust box
Operation panel
Gas box
Power box
RCU
RCU 1
RCU 2
Heater chamber
RCU Duct
(3) Parts boxes
NDU
Lot capability: 50
Process speed per unit time:
Wafer CHG, loading: 40
Process: 2H
Wafer DIS-CHG, un-loading: 40
Clock bandwidth: 60 Hz
Frequency: 60 Hz
Power:
208 V, 200 A, 3 Phase (Heater)
200 V, 40 A, 1 Phase (Controller)
2006 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i는 고성능 반도체 제조를 위해 설계된 최첨단 확산 로와 액세서리 장비입니다. 첨단 툴은 최첨단 기술 (최첨단 기술) 과 기능을 통합하여 확산 프로세스를 정확하게 제어하고, 뛰어난 성능 특성을 지닌 고품질의 반도체 (semiconductor) 장치를 생산할 수 있습니다. TEL ALPHA-303I 시스템의 핵심에는 반도체 소자 제작에서 중요한 구성 요소 인 확산 로가 있습니다. 용광로에는 여러 가열 구역 (각각 독립적 인 온도 조절 기능이있는) 이 장착되어 있으며, 확산 과정에서 정밀한 온도 프로파일링이 가능합니다. 이러한 제어 수준은 균일 한 확산 프로파일 (diffusion profile) 을 달성하고 웨이퍼 서피스에서 프로세스 변형을 최소화하는 데 필수적입니다. TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I 장치 (TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I 장치) 는 다양한 프로세스 가스 및 도펀트를 수용할 수 있도록 설계되었으며, 확산 프로세스를 사용자 정의하여 각기 다른 반도체 장치 응용 프로그램의 특정 요구 사항을 충족할 수 있습니다. 이 기계는 고급 가스 전달 시스템 (Advanced Gas Delivery System) 과 대량 흐름 컨트롤러 (Mass Flow Controller) 를 갖추고 있어 일관성 있는 도핑 수준과 장치 성능을 달성하는 데 필수적입니다. 확산 용광로 외에도, TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-303I 도구에는 효율적이고 안정적인 반도체 제조 공정을 지원하는 다양한 액세서리 및 주변 장치가 포함되어 있습니다. 이러한 액세서리에는 웨이퍼 로드 및 언로드를 위한 로드 잠금, 자동 웨이퍼 전송을 위한 웨이퍼 처리 로봇, 실시간 프로세스 최적화를 위한 프로세스 모니터링 및 제어 시스템 등이 포함됩니다. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I 자산의 주요 기능 중 하나는 고급 프로세스 제어 기능입니다. 이 모델에는 온도, 가스 유속 (gas flow rate), 압력 (pressure) 과 같은 주요 프로세스 매개변수를 실시간으로 모니터링할 수 있는 정교한 제어 알고리즘과 소프트웨어가 장착되어 있습니다. 따라서 운영자는 원하는 프로세스 조건에서 벗어난 부분을 신속하게 파악하고 수정하여 일관성 있고 반복 가능한 디바이스 성능을 확보할 수 있습니다 (영문). TEL ALPHA-303 I 장비는 사용 편의성 및 유지 관리를 위해 설계되었으며, 사용자 친화적 인 인터페이스를 통해 운영자가 시스템 매개변수를 직관적으로 제어할 수 있습니다. 이 장치에는 진단 도구 (diagnostic tools) 와 자체 교정 루틴 (self-calibration routine) 이 장착되어 있어 시스템 성능을 최적화하고 유지 보수 또는 교정 작업으로 인한 다운타임을 최소화할 수 있습니다. 전반적으로, ALPHA-303 I는 다재다능하고 고성능 확산 로와 액세서리 툴로, 현대 반도체 제조의 엄격한 요구 사항을 충족시킵니다. 첨단 기술, 정확한 프로세스 제어, 안정적인 성능을 갖춘 ALPHA-303I 는 뛰어난 성능 특성을 지닌 고품질 반도체 (semiconductor) 장치를 생산하는 데 필수적인 도구입니다.
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