판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #9167199

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i는 박막 증착의 산업 및 연구 응용 분야에 널리 사용되는 확산 로입니다. TEL ALPHA-303I는 6 인치 직경 석영 원자로 챔버, 통합 가스 분사 장비, 석영 서셉터 및 온도 컨트롤러로 구성됩니다. 온도 컨트롤러에는 최고 1100 ° C의 안정적이고 정확한 기판 온도를 제공하는 최상위 PID 알고리즘이 있습니다. 전체 시스템은 직관적인 사용자 인터페이스가있는 터치패드 (touchpad) 컨트롤러를 통해 작동합니다. TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I 확산 로는 석영 주위에 벽이있는 수직 석영 챔버입니다. 방에는 질소, 수소, 아르곤 또는 기타 가스를 챔버에 주입 할 수있는 가스 주입 장치 (gas injection unit) 가 있습니다. "가스 '는 또한 도가니 주위 에 보호 차폐 를 만들어 오염 으로부터 보호 하는 데 사용 된다. 열 조절 기계는 각각 석영 도가니 온도와 챔버 온도를 모니터링하는 2 개의 열전대 입력 (thermocouple input) 으로 구성됩니다. 확산 로의 하류에는 진공 도구, 기계식 도어, 고온 벨로우, 차가운 함정, 압력 게이지, 가스 퍼지 피팅 등 액세서리 배열이 있습니다. 다른 옵션 구성 요소로는 다중 포트 인젝터, 다중 영역 인젝터, 용광로 매니 폴드, 밸브 하우스 등이 있습니다. 알파 303i 확산 로는 우수한 온도 균일성 및 반복성, 뛰어난 열 안정성을 제공합니다. 이것은 고품질 박막 증착 과정을 보장합니다. 저비용 (low-cost) 부품은 더 오래 지속되며, 다른 모델보다 쉽게 대체할 수 있기 때문에 비용 효율적입니다. 요약하면, ALPHA 303 I 확산 로와 액세서리는 우수한 온도 조절 및 균일성, 뛰어난 열 안정성 및 비용 효율성을 제공합니다. 박막 침착물 (Thin Film Deposition) 에서 산업 및 연구 응용 분야에 적합하며, 제조 전문가에게 가치가 높고 귀중한 도구입니다.