판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #293829711

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i는 최대 섭씨 1100도의 온도에서 웨이퍼 및 기타 기판을 처리하는 데 사용되는 열 확산 로와 액세서리입니다. 이 도구는 빠른 열 구배를 가진 더블 존 (double-zone) 열 존을 사용하여 생산 시간, 높은 온도 및 더 많은 수율을 허용합니다. TEL ALPHA-303I의 핵심 구성 요소에는 가열 챔버, 가스 전송 링 및 온도 제어 모듈이 포함됩니다. 자동 기판 처리 장비는 전열, 에치 및 증착을위한 프로세스 챔버에 균일 한 기판을 제공합니다. 또한, 통합 수냉식 및 강제 배기 환기 시스템을 제공합니다. TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I에는 최신 Thermco Series III 컨트롤러가 장착되어 있으며, 이 컨트롤러에는 고급 프로그래밍 매개변수와 옵션이 포함되어 있어 지하 온도 및 공정 최적화가 용이합니다. 내장 압력 센서는 용광로 도어 압력 (furnace door pressure) 과 열성 질화물 배기 압력 (thermal nitride exhaust pressure) 을 모니터링하여 엄격한 프로세스 제어를 보장합니다. 단위의 자동화 측면은 프로세스 챔버의 확산 속도 (diffusion rate) 및 온도 균일 성을 더욱 단순화합니다. 추가 기능에는 편리한 바닥 수준의 핫 가스 바이 패스 (hot-gas bypass) 및 배기 팬 제어 (exhaust fan control) 가 포함되어 있어 안전한 작동을 보장하는 수동 재정의 기능을 제공합니다. 이 용광로 에는 또한 화염 탐지기 (flame detection machine) 와 같은 고급 안전 장치 가 장착 되어 있는데, 이것 은 위험 수준 의 가연성 "가스 '가 탐지 되면 전원 공급 장치 를 자동 차단 한다. TEL Alpha 303i (TEL Alpha 303i) 는 매우 효율적이며 최소한의 유지 보수가 필요하므로 효율적이고 안정적인 확산 로를 찾는 기업에게 적합한 옵션입니다. 균일하고 반복 가능한 결과를 제공하며 고품질 웨이퍼 및 기판 처리를 달성합니다. 안전 기능, 하이엔드 프로세스 최적화, 사용 편의성 등은 오버헤드 비용 및 생산 시간을 줄이는 데 도움이 되며, TOKYO ELECTRON Alpha 303i (TOKYO ELECTRON Alpha 303i) 는 신뢰할 수있는 확산 로를 찾는 제조업체에 적합한 선택입니다.