판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #293758336

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i는 고급 직접 결합 된 이중 챔버 확산 광로 장비를 갖춘 최첨단 반도체 처리 솔루션입니다. 이 솔루션은 고도의 반도체를 보다 효율적이고, 빠르고, 안정적으로 제조할 수 있도록 지원합니다. 용광로 (furnace) 의 독특한 디자인은 동시 챔버 사용을 극대화하고 코너리스 (cornerless) 디자인으로 인한 오염을 줄이는 데 도움이됩니다. TEL ALPHA-303I는 로봇 부하 잠금이 통합 된 완전 자동화 시스템입니다. 이 로드 락은 부품을 로드 및 언로드하는 동안 챔버 오염 가능성을 최소화합니다. 이 장치에 포함된 사용자 지정 소프트웨어는 전체 프로세스를 단순화하며, 여러 시퀀스를 보다 빠르고 쉽게 구성하는 데 도움이 됩니다. TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I은 뛰어난 성능, 더 나은 균일성 및 최적의 정밀도를 제공하도록 설계되었습니다. 용광로의 다중 제한 처리 환경 (multi-limined processing environment) 은 가혹하고 어려운 환경에서도 뛰어난 균일성과 온도 안정성을 제공합니다. 소형 챔버 내부의 버너 (burner) 는 경쟁 시스템 중 가장 높은 전송 효율성과 최적의 증착율을 제공 할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I에 통합된 고급, 완전 지원 TEMI-2 컨트롤러를 사용하면 데이터 분석과 신속한 실시간 프로세스 제어를 안전하게 수행할 수 있습니다. 또한 이 컨트롤러에는 자동/수동 즉석 챔버 튜닝 기능, 다중 장치 관리 및 실시간 현장 측정 (in-situ measurement) 과 같은 최신 기능이 장착되어 있습니다. 알파 303i (Alpha 303i) 는 프로세스 영역이 넓고 모듈식 디자인으로 인해 다양한 기판과 호환됩니다. 이것은 도핑, 어닐링, PVD 및 CVD와 같은 다른 프로세스에 이상적인 선택입니다. 퍼니스는 또한 배기 기계, 열 제한기, 안전 연동 차단 도구 (Safety Interlock Shut Off Tool) 를 포함한 고급 안전 기능으로 설계되었습니다. 전반적으로 TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-303I는 뛰어난 성능, 균일성 및 정밀도를 제공하는 고급, 다용도 및 신뢰할 수있는 확산 용광로 자산입니다. 견고한 설계, 사용자 친화적 인터페이스, 고급 안전 (safety) 기능을 갖춘 이 모델은 다양한 규제 산업 부문에서 성공적인 증착 (deposition) 프로세스를 제공할 수 있습니다.