판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #293754732

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i는 반도체 품질 제품을 만드는 데 사용되는 확산 로와 액세서리입니다. 확산, 산화 및 LPCVD를 포함한 다양한 프로세스에 사용될 수 있습니다. TEL ALPHA-303I 는 수동 및 완전 자동화 기능을 모두 지원하므로 사용이 매우 간편합니다. 공정 제어 (Process Control) 및 모니터링 (Monitor) 이 향상되어 생산량이 늘어나는 소규모 제품에도 적합합니다. TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I 최대 전력은 110kW이며 출력 및 온도 프로파일링을 조정할 수 있습니다. 챔버 치수는 직경 35.4cm, 깊이 35cm이며, 최대 기판 크기는 직경 300mm입니다. 용광로에는 가열 된 감수기와 완전한 질소 기능이있는 6 개의 가열 구역이 있습니다. 이를 통해 산화 평가, 불순물 확산, 규산 및 다층 증착과 같은 목표 연구가 가능합니다. 또한, 최대 1100 ° C 이상의 고온 공정 호환성을 제공 할 수 있습니다. TEL 알파 303i (Alpha 303i) 에는 가스 분사 시스템을 통해 최대 6 개의 가스 입력 채널과 온도와 같은 매개 변수 제어를위한 실시간 피드백 (in-situ metrology system) 옵션이 있으며 공정의 여러 단계에서 사용되는 다양한 가스가 있습니다. 또한 50/60Hz 전원 및 균형 잡힌/불균형 AC 전원을 포함한 다양한 가열 소스를 수용 할 수 있습니다. 마지막으로 TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I에는 레시피 절약, 편집 및 로드가 용이한 레시피가 있습니다. 이는 엔지니어, 기술자 및 생산 담당자 모두에게 매우 사용자 친화적입니다. 이 장비에는 E-Stop, 온도 및 압력 경보, 화재 감지 시스템 등 공장 설치 안전 기능도 있습니다. TEL/TOKYO ELETRON ALPHA-303I는 다양한 반도체 생산 응용 분야를위한 뛰어난 확산 로와 액세서리입니다. 사용하기 쉬운 기능으로, 고품질 (High Quality) 프로세스를 수행하면서 생산량을 늘리고자 하는 사람들에게 적합한 선택입니다.