판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #293745193

ID: 293745193
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2004
Furnace, 12" Process: LPCVD Nitride Handler system (2) FOUPs Non-functional: Process chamber Heater 2004 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i 확산 로는 최고 수준의 열 처리 표준을 충족하기 위해 최신 기술로 제작 된 고급 자동 시스템입니다. 이들은 열처리 (thermal process) 를 정확하게 제어하고, 핵심 매개변수를 정확하게 제어하여 일관되고 반복 가능한 프로세스 성능을 보장하기 위해 일관된 균일 난방 (uniform heating) 을 제공하도록 설계되었습니다. TEL ALPHA-303I 시리즈는 3 가지 버전을 선택할 수있는 결합 된 산화/확산 유형 제어 장비를 갖추고 있습니다. 이러한 옵션은 특정 요구 사항을 충족할 수 있는 유연성을 제공하도록 설계되었으며, 따라서 사용자는 프로세스에 적합한 확산 환경 (diffusion environment) 을 선택할 수 있습니다. 확산 용광로에는 프로세스 전반에 걸쳐 고정밀 온도 제어를 제공하도록 설계된 다단 선형 MPC (multi-parameter control) 시스템도 포함됩니다. TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I 확산 로에는 샘플 로테이터 및 쿼츠 라이너를 포함한 고급 액세서리도 있습니다. 이 액세서리는 느리게 가열 (slow-heating) 된 유형의 확산 광로 (diffusion furnace) 의 기능을 향상시키고 확장하기 위해 설계되었으며, 프로세스 중에 샘플 홀더를 회전시켜 동종 처리 결과를 얻을 수 있도록 합니다. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-303I 확산 로에는 내장 진동 보호 시스템 및 온도 제한 제어 회로와 같은 다양한 안전 기능도 포함됩니다. 이 안전 (safety) 기능은 확산 용광로의 일관되고 정확한 작동을 보장하며, 우발적 손상으로부터 보호하는 데 도움이됩니다. TEL ALPHA-303 I 확산 로에 사용되는 고급 (advanced) 기술은 다양한 어플리케이션에서 안정성과 성능을 향상시키기 위해 설계 및 테스트되었습니다. 사용이 간편한 운영 장치 (Operating Unit) 는 다양한 사용자에게 친숙한 기능을 제공하여 광범위한 프로세스에 적합합니다. 요약하면, TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I은 정밀하고 균일 한 가열을 허용하는 다양한 액세서리를 포함하는 고급 확산 용광로입니다. 다양한 안전 (Safety) 기능을 통해 일관되고 정확한 작동을 보장합니다. 이 툴에는 사용하기 쉬운 운영 자산 (operating asset) 도 있어 모든 수준의 사용자에게 적합합니다. 알파-303 I 확산 로는 정확한 온도 조절 및 동종 처리 결과가 필요한 어플리케이션에 적합합니다.
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