판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #293652596

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i는 고품질의 전문 등급 확산 로와 함께 제공되는 액세서리입니다. "퍼니스 '는" 도판트' 를 기판 으로 확산 하기 위하여 반도체 산업 에 사용 되는 열 처리 장비 의 일종 으로, 원하는 전기 특성 을 만들기 위하여 "도판트 '를" 기판' 으로 확산 한다. 이 특정 모델 인 TEL ALPHA-303I (TEL ALPHA-303I) 는 제어 환경에서 기판을 균등하게 가열하고 식히도록 설계되었습니다. 내장형 웨이퍼 트랜스퍼 로봇 (Wafer Transfer Robot) 과 인버터드 로더 (Inverted Loader) 가 함께 제공되어 많은 생산 라인의 요구를 충족합니다. 대형의 챔버 (chamber) 크기와 루프 (close loop) 규제를 통해 장비 가동 시 지연이나 전반적인 다운타임이 없어서 가동이 매우 효율적입니다. TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I은 임플란트, 도펀트, 니트 라이딩, 프리 클린 프로세스 및 기타 열 처리 프로세스를 포함한 다양한 응용 분야에 적합합니다. 다른 유사 시스템보다 뛰어난 균일성, 빠른 설치 시간, 높은 처리량을 제공합니다. 알파 303i (Alpha 303i) 는 최대 섭씨 900도의 온도에서 플라즈마 가열 발생기를 사용하여 물질의 열적 확산을 보장합니다. 특수 온도 조절 프로그램 (temperature control program) 과 가변 공정 챔버 (variable process chamber) 가 있으므로 복잡한 작업에 적합합니다. TEL ALPHA 303 I는 또한 온도, 압력, 플라즈마 및 기타 매개 변수를 제어하기위한 완전히 자동화 된 시스템을 갖추고 있습니다. 고급 시스템 기능을 사용하면 한 사전 설정에서 다른 사전 설정으로, 실시간 프로세스 제어 (real-time process control) 를 통해 확산 프로세스를 완전히 제어할 수 있습니다. 이 제품에는 로드 시스템, 웨이퍼 처리 도구, 진공 펌프, 다양한 프로세스 센서, 모니터 등 다양한 액세서리가 함께 제공됩니다. 강력한 기능과 사용이 편리한 ALPHA-303I 확산 퍼니스 (ALPHA-303I Diffusion Furnace) 는 열 처리 요구를 충족하기 위해 전문적인 수준의 장비와 액세서리가 필요한 고객에게 이상적인 솔루션입니다.