판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i Nitride #293655836

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-303i Nitride 퍼니스는 고성능 기판 처리 장비입니다. 이것 은 여러 가지 물질 을 "실리콘 '과 다른 반도체 기판 으로 확산 하는 데 이상적 이며," 이온' 착상 에서 산화 및 질화물 응용 에 이르기 까지 모든 반도체 장치 처리 를 할 수 있다. 기술 능력 측면에서 TEL Alpha-303i Nitride Furnace의 최대 온도는 1250 ° C이며 최대 열 균질성은 ± 5 ° C입니다. 또한 70 x 70mm 면적에서 ± 0.9 ° C의 온도 균일 성과 140 x 140mm 면적에서 ± 2.2 ° C의 균일 성을 갖습니다. 이 시스템은 150 개가 넘는 열 주기 (thermal cycle) 에 대한 열 기록을 유지할 수 있으며, 대용량 생산 문제에 사용될 수 있습니다. 신뢰할 수있는 적분 히터 단위는 최대 온도 조절 정확도 ± 0.2 ° C를 보장합니다. 이 기계에는 피로미터 (pyrometer), 원격관람 도구 (remote viewing tool), 가스 흐름 제어 에셋 (gas flow control asset) 등 다양한 고급 기능이 장착되어 있습니다. 이것 은 "질화물 '을 정확 하게 조절 하고 다른 가공 을 약실 에서" 웨이퍼' 수치 로 제어 할 수 있게 해 준다. Nitride 용광로는 온도를 인수하는 동안 도핑을 제어 할 수도 있습니다. 이것 은 질소 의 흐름 과 "실레인 '원" 가스' 의 흐름 사이 의 균형 을 조작 함 으로써 이루어진다. 또한 균일성 향상을 위해 설계된 고급 쿼츠 하단 전극 구성이 포함되어 있습니다. TOKYO ELECTRON ALPHA-303i Nitride 퍼니스는 안정적이고 강력한 기판 가공 도구입니다. 첨단 기능은 광범위한 고정밀 (high-precision) 프로세스를 보장하며, 최신 반도체 소자와 크리스탈 성장 (crystal growth) 기술을 활용합니다. 온도 제어 정확도와 열 균질성은 일관된 중대량 생산을 보장합니다. 또한 고급 센서와 자동 제어 시스템 (Automated Control System) 을 사용하여 프로세스 결과의 안전성과 품질을 극대화합니다.